Dezvoltarea rapidă în domeniile informațiilor și optoelectronice a promovat actualizarea continuă a tehnologiei de lustruire mecanică chimică (CMP). În plus față de echipamente și materiale, achiziția de suprafețe ultra-cu precizie depinde mai mult de proiectarea și producția industrială a particulelor abrazive de înaltă eficiență, precum și de prepararea suspensiei de lustruire corespunzătoare. Și odată cu îmbunătățirea continuă a preciziei de prelucrare a suprafeței și a cerințelor de eficiență, cerințele pentru materialele de lustruire de înaltă eficiență sunt, de asemenea, din ce în ce mai mari. Dioxidul de ceriu a fost utilizat pe scară largă în prelucrarea cu precizie a suprafeței dispozitivelor microelectronice și componente optice de precizie.
Pulberea de lustruire a oxidului de ceriu (VK-CE01) Pulberea de lustruire are avantajele unei puternice capacități de tăiere, eficiență ridicată de lustruire, precizie ridicată de lustruire, calitate bună a lustruirii, mediu de funcționare curată, poluare scăzută, viață lungă, etc., și este utilizat pe scară largă în lustruirea de precizie optică și CMP, etc. Câmpul ocupă o poziție extrem de importantă.
Proprietăți de bază ale oxidului de ceriu:
Ceria, cunoscută și sub denumirea de oxid de ceriu, este un oxid de ceriu. În acest moment, valența ceriului este +4, iar formula chimică este CEO2. Produsul pur este pulbere grea albă sau cristal cubic, iar produsul impur este galben deschis sau chiar roz până la pulbere maro-roșiatică (deoarece conține cantități de urme de lantanum, praseodim, etc.). La temperatura și presiunea camerei, Ceria este un oxid stabil de ceriu. Cerium poate forma, de asemenea, +3 Valence CE2O3, care este instabil și va forma CEO2 stabil cu O2. Oxidul de ceriu este ușor solubil în apă, alcalin și acid. Densitatea este de 7,132 g/cm3, punctul de topire este de 2600 ℃, iar punctul de fierbere este 3500 ℃.
Mecanism de lustruire a oxidului de ceriu
Duritatea particulelor CEO2 nu este ridicată. Așa cum se arată în tabelul de mai jos, duritatea oxidului de ceriu este mult mai mică decât cea a diamantului și oxidului de aluminiu și, de asemenea, mai mică decât cea a oxidului de zirconiu și oxidului de siliciu, care este echivalent cu oxidul ferric. Prin urmare, nu este posibil din punct de vedere tehnic să se depoleze materiale pe bază de oxid de siliciu, cum ar fi sticla de silicat, sticla de cuarț etc., cu ceria cu duritate scăzută doar din punct de vedere mecanic. Cu toate acestea, oxidul de ceriu este în prezent pulberea de lustruire preferată pentru lustruirea materialelor pe bază de oxid de siliciu sau chiar materiale de nitrură de siliciu. Se poate observa că lustruirea de oxid de ceriu are și alte efecte, pe lângă efectele mecanice. Duritatea diamantului, care este un material de măcinare și lustruire utilizat în mod obișnuit, are de obicei locuri vacante de oxigen în rețeaua CEO2, care își schimbă proprietățile fizice și chimice și are un anumit impact asupra proprietăților de lustruire. Pulberile de lustruire a oxidului de ceriu utilizate în mod obișnuit conțin o anumită cantitate de alți oxizi rari de pământ. Oxidul de praseodim (PR6O11) are, de asemenea, o structură de rețea cubică centrată pe față, care este potrivită pentru lustruire, în timp ce alți oxizi de pământ rar de lantanidă nu au capacitate de lustruire. Fără a schimba structura de cristal a CEO2, poate forma o soluție solidă cu aceasta într -un anumit interval. Pentru pulberea de lustruire a oxidului de nano-cerium de înaltă puritate (VK-CE01), cu atât este mai mare puritatea oxidului de ceriu (VK-CE01), cu atât este mai mare capacitatea de lustruire și durata de viață mai lungă, în special pentru lentilele de sticlă dură și de cuarț pentru o lungă perioadă de timp. Când lustruirea ciclică, este recomandabil să folosiți pulbere de lustruire de oxid de ceriu de înaltă puritate (VK-CE01).
Aplicarea pulberii de lustruire a oxidului de ceriu:
Pulbere de lustruire a oxidului de ceriu (VK-CE01), utilizată în principal pentru lustruirea produselor din sticlă, este utilizată în principal în următoarele câmpuri:
1. Ochelari, lustruire a lentilelor de sticlă;
2. Obiectiv optic, sticlă optică, lentilă, etc.;
3. Sticla ecranului telefonului mobil, suprafața ceasului (ușa ceasului), etc.;
4. Monitor LCD tot felul de ecran LCD;
5. Rinones, diamante fierbinți (cărți, diamante pe blugi), bile de iluminat (candelabre de lux în sala mare);
6. Crafturi de cristal;
7. Polustrul parțial al jadului
Actualul derivate de lustruire a oxidului de ceriu:
Suprafața oxidului de ceriu este dopată cu aluminiu pentru a -și îmbunătăți semnificativ lustruirea de sticlă optică.
Departamentul de cercetare și dezvoltare tehnologică tehnologică a tehnologiei Urbanminelor. Limitată, a propus că compunerea și modificarea suprafeței particulelor de lustruire sunt principalele metode și abordări pentru îmbunătățirea eficienței și preciziei lustruirii CMP. Deoarece proprietățile particulelor pot fi reglate prin compunerea elementelor cu mai multe componente, iar stabilitatea dispersiei și eficiența de lustruire a suspensiei de lustruire pot fi îmbunătățite prin modificarea suprafeței. Pregătirea și performanța de lustruire a pulberii CEO2 dopate cu TiO2 pot îmbunătăți eficiența de lustruire cu mai mult de 50%și, în același timp, defectele de suprafață sunt, de asemenea, reduse cu 80%. Efectul de lustruire sinergic al oxizilor compoziți CEO2 ZRO2 și SiO2 2CEO2; Prin urmare, tehnologia de preparare a oxizilor compoziți cu ceria micro-nano dopat are o importanță deosebită pentru dezvoltarea de noi materiale de lustruire și discuția mecanismului de lustruire. În plus față de cantitatea de dopaj, starea și distribuția dopantului în particulele sintetizate afectează foarte mult proprietățile de suprafață și performanța de lustruire.
Printre ele, sinteza particulelor de lustruire cu structura de placare este mai atractivă. Prin urmare, selecția metodelor și condițiilor sintetice este, de asemenea, foarte importantă, în special acele metode simple și rentabile. Folosind carbonat de ceriu hidratat ca principală materie primă, particulele de lustruire a oxidului de ceriu dopat de aluminiu au fost sintetizate prin metoda mecanochimică umedă în fază solidă. În cadrul acțiunii forței mecanice, particule mari de carbonat de ceriu hidratat pot fi scindate în particule fine, în timp ce nitratul de aluminiu reacționează cu apa de amoniac pentru a forma particule coloidale amorfe. Particulele coloidale sunt ușor atașate la particulele de carbonat de ceriu, iar după uscare și calcinare, se poate obține dopaj de aluminiu pe suprafața oxidului de ceriu. Această metodă a fost utilizată pentru a sintetiza particulele de oxid de ceriu cu cantități diferite de dopaj de aluminiu, iar performanța lor de lustruire a fost caracterizată. După ce s -a adăugat o cantitate adecvată de aluminiu la suprafața particulelor de oxid de ceriu, valoarea negativă a potențialului de suprafață ar crește, ceea ce la rândul său a făcut decalajul dintre particulele abrazive. Există o repulsie electrostatică mai puternică, care promovează îmbunătățirea stabilității abrazive a suspensiei. În același timp, adsorbția reciprocă între particulele abrazive și stratul moale încărcat pozitiv prin atracția Coulomb va fi, de asemenea, întărit, ceea ce este benefic pentru contactul reciproc dintre stratul abraziv și moale de pe suprafața sticlei lustruite și promovează îmbunătățirea vitezei de lustruire.