
Trimetilaluman (TMAI)
| Sinonimi | Trimetilaluminij, aluminijev trimetil, aluminijev trimetanid, TMA, TMAL, AlMe3, Ziegler-Natta katalizator, trimetil-, trimetilalan. |
| CAS broj | 75-24-1 |
| Kemijska formula | C6H18Al2 |
| Molarna masa | 144,17 g/mol, 72,09 g/mol (C3H9Al) |
| Izgled | Bezbojna tekućina |
| Gustoća | 0,752 g/cm3 |
| Točka taljenja | 15℃ (59 ℉; 288 K) |
| Vrelište | 125-130 ℃ (257-266 ℉, 398-403 K) |
| Topljivost u vodi | Reagira |
| Tlak pare | 1,2 kPa (20 ℃), 9,24 kPa (60 ℃) |
| Viskoznost | 1,12 cP (20 ℃), 0,9 cP (30 ℃) |
Trimetilaluminij (TMAl), kao metal-organski (MO) izvor, široko se koristi u poluvodičkoj industriji i služi kao ključni prekursor za atomsko slojevito taloženje (ALD), kemijsko taloženje iz parne faze (CVD) i metal-organsko kemijsko taloženje iz parne faze (MOCVD). Koristi se za pripremu visokočistih filmova koji sadrže aluminij, poput aluminijevog oksida i aluminijevog nitrida. Osim toga, TMAli pronalazi široku primjenu kao katalizator i pomoćno sredstvo u organskoj sintezi i reakcijama polimerizacije.
Trimetilaluminij (TMAI) djeluje kao prekursor za taloženje aluminijevog oksida i funkcionira kao Ziegler-Natta katalizator. Također je najčešće korišteni aluminijev prekursor u proizvodnji metal-organske epitaksije u parnoj fazi (MOVPE). Nadalje, TMAI služi kao sredstvo za metilaciju i često se oslobađa iz sondažnih raketa kao traser za proučavanje obrazaca vjetra u gornjim slojevima atmosfere.
Poduzeće specifikacija 99,9999% trimetilaluminija - nizak sadržaj silicija i kisika (6N TAMI - nizak sadržaj silicija i kisika)
| Element | Proizlaziti | Specifikacija | Element | Proizlaziti | Specifikacija | Element | Proizlaziti | Specifikacija |
| Ag | ND | <0,03 | Cr | ND | <0,02 | S | ND | <0,05 |
| As | ND | <0,03 | Cu | ND | <0,02 | Sb | ND | <0,05 |
| Au | ND | <0,02 | Fe | ND | <0,04 | Si | ND | ≤0,003 |
| B | ND | <0,03 | Ge | ND | <0,05 | Sn | ND | <0,05 |
| Ba | ND | <0,02 | Hg | ND | <0,03 | Sr | ND | <0,03 |
| Be | ND | <0,02 | La | ND | <0,02 | Ti | ND | <0,05 |
| Bi | ND | <0,03 | Mg | ND | <0,02 | V | ND | <0,03 |
| Ca | ND | <0,03 | Mn | ND | <0,03 | Zn | ND | <0,05 |
| Cd | ND | <0,02 | Ni | ND | <0,03 | |||
| Co | ND | <0,02 | Pb | ND | <0,03 |
Bilješka:
Iznad svih vrijednosti PPM po težini na metalu, a ND = nije detektirano
Metoda analize: ICP-OES/ICP-MS
FT-NMR rezultati (LOD za FT-NMR organske i oksigenirane nečistoće je 0,1 ppm):
Zajamčeni kisik <0,2 ppm (mjereno u FT-NMR)
1. Nisu otkrivene organske nečistoće
2. Nisu otkrivene oksigenirane nečistoće
Za što se koristi trimetilaluminij (TMAI)?
Trimetilaluminij (TMA)- Primjene i upotrebe
Trimetilaluminij (TMA) je organoaluminijev spoj ultra visoke čistoće koji služi kao ključni prekursor u nekim od najnaprednijih proizvodnih sektora. Njegova iznimna reaktivnost i tlak pare čine ga materijalom izbora za nanošenje preciznih filmova koji sadrže aluminij u elektroničkim i energetskim tehnologijama, kao i temeljnom komponentom u proizvodnji poliolefina.
Naš TMA proizvodi se prema najstrožim standardima čistoće, uz rigoroznu kontrolu elementarnih, oksigeniranih i organskih nečistoća kako bi se osigurale optimalne performanse u vašim najzahtjevnijim primjenama.
Primarne primjene i industrije:
1. Izrada poluvodiča i mikroelektronike
U poluvodičkoj industriji, TMA je neophodan za nanošenje tankih filmova s preciznošću atomske skale.
* High-k dielektrici: Koriste se u atomskom slojevitom taloženju (ALD) i kemijskom taloženju iz parne faze (CVD) za rast jednoličnih tankih filmova aluminijevog oksida (Al₂O₃) bez rupica, koji služe kao high-k dielektrici na vratima u naprednim tranzistorima i memorijskim uređajima.
* Složeni poluvodiči: Poželjni izvor aluminija u metalorganskoj epitaksiji iz parne faze (MOVPE) za rast visokoučinkovitih III-V spojnih poluvodiča. Ovi materijali su bitni za:
* Visokofrekventna elektronika: (npr. AlGaAs, AlInGaP)
* Optoelektronika: (npr. AlGaN, AlInGaN)
2. Čista energija i fotonaponski sustavi
TMA omogućuje veću učinkovitost i trajnost u tehnologijama solarne energije.
* Slojevi površinske pasivizacije: Naneseni putem ALD-a ili plazmom poboljšanog CVD-a (PECVD), filmovi aluminijevog oksida (Al₂O₃) iz TMA pružaju izvanrednu površinsku pasivizaciju za kristalne silicijske solarne ćelije. To drastično smanjuje rekombinaciju nositelja naboja, što dovodi do značajnog povećanja učinkovitosti pretvorbe ćelija i dugoročne stabilnosti.
3. Napredna rasvjeta i zaslon (LED)
Proizvodnja visokosvjetlih i energetski učinkovitih LED dioda oslanja se na TMA visoke čistoće.
* LED epitaksija: Služi kao prekursor aluminija u MOVPE reaktorima za rast aktivnih slojeva (npr. AlGaN) u plavim, zelenim i ultraljubičastim LED diodama.
* Pasivizacija uređaja: Koristi se za nanošenje zaštitnih filmova aluminijevog oksida ili aluminijevog nitrida koji poboljšavaju učinkovitost optičke ekstrakcije i produžuju vijek trajanja LED uređaja.
4. Industrijska kataliza i proizvodnja polimera
Industrijski značaj TMA-e ukorijenjen je u njezinoj ulozi u katalizi.
* Poliolefinska kataliza: To je primarni početni materijal za sintezu metilaluminoksana (MAO), ključnog kokatalizatora u Ziegler-Natta i metalocenskim katalitičkim sustavima. Ovi sustavi proizvode veliku većinu svjetske polietilenske i polipropilenske plastike.
Ključne karakteristike i prednosti:
* Ultra visoka čistoća: Pažljivo kontrolirana kako bi se smanjile nečistoće koje degradiraju elektroničke performanse i katalitičku aktivnost.
* Vrhunski prekursor: Nudi izvrsnu hlapljivost, toplinsku stabilnost i čiste karakteristike razgradnje za visokokvalitetno nanošenje filma.
* Industrijski standard: Utvrđeni, pouzdani izvor aluminija za MOVPE, ALD i CVD procese u globalnim istraživačko-razvojnim i proizvodnim pogonima.
* Zaklada za plastiku: Ključna sirovina koja omogućuje proizvodnju svestranih i esencijalnih poliolefinskih polimera.
Odricanje od odgovornosti: Trimetilaluminij je piroforan i na vlagu osjetljiv materijal koji zahtijeva specijalizirano rukovanje i sigurnosne protokole. Pružene informacije služe u opisne svrhe. Odgovornost je korisnika da s ovim materijalom rukuje u skladu sa svim primjenjivim sigurnosnim smjernicama i da utvrdi njegovu prikladnost za određenu primjenu.