Trimetyylialumiini (TMAI)
Trimetyylialumaani (TMAI)
| Synonyymit | Trimetyylialumiini, alumiinitrimetyyli, alumiinitrimetanidi, TMA, TMAL, AlMe3, Ziegler-Natta-katalyytti, trimetyyli-, trimetyylialani. |
| Cas-numero | 75-24-1 |
| Kemiallinen kaava | C6H18Al2 |
| Moolimassa | 144,17 g/mol, 72,09 g/mol (C3H9Al) |
| Ulkonäkö | Väritön neste |
| Tiheys | 0,752 g/cm³ |
| Sulamispiste | 15 ℃ (59 ℉; 288 K) |
| Kiehumispiste | 125–130 ℃ (257–266 ℉, 398–403 K) |
| Liukoisuus veteen | Reagoi |
| Höyrynpaine | 1,2 kPa (20 ℃), 9,24 kPa (60 ℃) |
| Viskositeetti | 1,12 cP (20 ℃), 0,9 cP (30 ℃) |
Trimetyylialumiini (TMAl), metalli-orgaanisena (MO) lähteenä, on laajalti käytössä puolijohdeteollisuudessa ja toimii keskeisenä lähtöaineena atomikerrospinnoitukselle (ALD), kemialliselle höyrypinnoitukselle (CVD) ja metalli-orgaaniselle kemialliselle höyrypinnoitukselle (MOCVD). Sitä käytetään erittäin puhtaiden alumiinia sisältävien kalvojen, kuten alumiinioksidin ja alumiininitridin, valmistukseen. Lisäksi TMAl:lla on laaja käyttöalue katalyyttinä ja sen apuaineena orgaanisessa synteesissä ja polymerointireaktioissa.
Trimetyylialumiini (TMAI) toimii alumiinioksidin laskeutumisen esiasteena ja Ziegler-Natta-katalyyttinä. Se on myös yleisimmin käytetty alumiinin esiaste metalli-orgaanisen höyryfaasiepitaksian (MOVPE) tuotannossa. Lisäksi TMAI toimii metylaatioaineena ja sitä vapautuu usein luotainraketeista merkkiaineena yläilmakehän tuulimallien tutkimiseen.
99,9999 % trimetyylialumiinia sisältävä yritysspesifikaatio - alhainen pii- ja happipitoisuus (6N TAMI - matala pii- ja happipitoisuus)
| Elementti | Tulos | Tekniset tiedot | Elementti | Tulos | Tekniset tiedot | Elementti | Tulos | Tekniset tiedot |
| Ag | ND | <0,03 | Cr | ND | <0,02 | S | ND | <0,05 |
| As | ND | <0,03 | Cu | ND | <0,02 | Sb | ND | <0,05 |
| Au | ND | <0,02 | Fe | ND | <0,04 | Si | ND | ≤0,003 |
| B | ND | <0,03 | Ge | ND | <0,05 | Sn | ND | <0,05 |
| Ba | ND | <0,02 | Hg | ND | <0,03 | Sr | ND | <0,03 |
| Be | ND | <0,02 | La | ND | <0,02 | Ti | ND | <0,05 |
| Bi | ND | <0,03 | Mg | ND | <0,02 | V | ND | <0,03 |
| Ca | ND | <0,03 | Mn | ND | <0,03 | Zn | ND | <0,05 |
| Cd | ND | <0,02 | Ni | ND | <0,03 | |||
| Co | ND | <0,02 | Pb | ND | <0,03 |
Huomautus:
Ennen kaikkea PPM-arvo painon mukaan metallilla ja ND = ei havaittu
Analyysimenetelmä: ICP-OES/ICP-MS
FT-NMR-tulokset (FT-NMR-orgaanisten ja hapettuneiden epäpuhtauksien havaitsemisraja on 0,1 ppm):
Happitakuu <0,2 ppm (mitattuna FT-NMR:llä)
1. Ei havaittu orgaanisia epäpuhtauksia
2. Ei havaittu hapettuneita epäpuhtauksia
Mihin trimetyylialumiinia (TMAI) käytetään?
Trimetyylialumiini (TMA)- Sovellukset ja käyttötarkoitukset
Trimetyylialumiini (TMA) on erittäin puhdas organoalumiiniyhdiste, joka toimii kriittisenä lähtöaineena joillakin edistyneimmistä valmistussektoreista. Sen poikkeuksellinen reaktiivisuus ja höyrynpaine tekevät siitä ensisijaisen materiaalin tarkkojen alumiinipitoisten kalvojen kerrostamiseen elektroniikka- ja energiateknologioissa, ja se on myös perustavanlaatuinen komponentti polyolefiinien tuotannossa.
TMA-annostelijamme valmistetaan tiukimpien puhtausstandardien mukaisesti, ja alkuaine-, hapetettujen ja orgaanisten epäpuhtauksien määrää valvotaan tarkasti optimaalisen suorituskyvyn varmistamiseksi vaativimmissakin sovelluksissasi.
Ensisijaiset sovellukset ja toimialat:
1. Puolijohteiden ja mikroelektroniikan valmistus
Puolijohdeteollisuudessa TMA on välttämätön ohutkalvojen kerrostamiseksi atomitason tarkkuudella.
* Korkean k-arvon dielektriset materiaalit: Käytetään atomikerroskasvatusmenetelmässä (ALD) ja kemiallisessa höyrykasvatusmenetelmässä (CVD) kasvattamaan tasaisia, aukittomia alumiinioksidikalvoja (Al₂O₃), jotka toimivat korkean k-arvon porttieristeinä edistyneissä transistoreissa ja muistilaitteissa.
* Yhdistepuolijohteet: Ensisijainen alumiinin lähde metalliorgaanisessa höyryfaasiepitaksiassa (MOVPE) korkean suorituskyvyn omaavien III-V-yhdistepuolijohteiden kasvattamiseen. Nämä materiaalit ovat välttämättömiä:
* Korkeataajuinen elektroniikka: (esim. AlGaAs, AlInGaP)
* Optoelektroniikka: (esim. AlGaN, AlInGaN)
2. Puhdas energia ja aurinkoenergia
TMA mahdollistaa aurinkoenergiateknologioiden paremman tehokkuuden ja kestävyyden.
* Pinnan passivointikerrokset: ALD- tai plasma-vahvisteisen CVD-menetelmän (PECVD) avulla kerrostetut TMA:sta valmistetut alumiinioksidikalvot (Al₂O₃) tarjoavat erinomaisen pinnan passivoinnin kiteisille piiaurinkokenoille. Tämä vähentää merkittävästi varauksenkuljettajien rekombinaatiota, mikä johtaa merkittäviin parannuksiin kennojen muuntotehokkuudessa ja pitkäaikaisessa vakaudessa.
3. Edistynyt valaistus ja näyttö (LED)
Kirkkaiden ja energiatehokkaiden LEDien tuotanto perustuu erittäin puhtaaseen TMA:han.
* LED-epitaksi: Toimii alumiinin esiasteena MOVPE-reaktoreissa aktiivisten kerrosten (esim. AlGaN) kasvattamiseksi sinisissä, vihreissä ja ultravioletti-LEDeissä.
* Laitteen passivointi: Käytetään suojaavien alumiinioksidi- tai alumiininitridikalvojen kerrostamiseen, jotka parantavat optista uuttotehokkuutta ja pidentävät LED-laitteiden käyttöikää.
4. Teollinen katalyysi ja polymeerien tuotanto
TMA:n teollinen merkitys juontaa juurensa sen roolista katalyysissä.
* Polyolefiinikatalyysi: Se on ensisijainen lähtöaine metyylialuminoksaanin (MAO) synteesissä. MAO on tärkeä kokatalyytti Ziegler-Natta- ja metalloseenikatalyyttijärjestelmissä. Nämä järjestelmät tuottavat valtaosan maailman polyeteeni- ja polypropeenimuoveista.
Tärkeimmät ominaisuudet ja edut:
* Erittäin korkea puhtaus: Tarkkaan kontrolloitu elektroniikan suorituskykyä ja katalyyttistä aktiivisuutta heikentävien epäpuhtauksien minimoimiseksi.
* Ylivertainen lähtöaine: Tarjoaa erinomaisen haihtuvuuden, lämpöstabiilisuuden ja puhtaat hajoamisominaisuudet korkealaatuista kalvonmuodostusta varten.
* Alan standardi: Vakiintunut ja luotettu alumiinin lähde MOVPE-, ALD- ja CVD-prosesseille maailmanlaajuisissa tutkimus- ja kehityslaitoksissa sekä tuotantolaitoksissa.
* Foundation for Plastics: Keskeinen raaka-aine, joka mahdollistaa monipuolisten ja välttämättömien polyolefiinipolymeerien tuotannon.
Vastuuvapauslauseke: Trimetyylialumiini on pyroforinen ja kosteusherkkä materiaali, joka vaatii erityisiä käsittely- ja turvallisuusprotokollia. Annetut tiedot ovat kuvailevia. Käyttäjän vastuulla on käsitellä tätä materiaalia kaikkien sovellettavien turvallisuusohjeiden mukaisesti ja määrittää sen soveltuvuus tiettyyn käyttötarkoitukseen.
