Trimetilaluminij (TMAI)
Trimetilaluman (TMAI)
| Sinonimi | Trimetilaluminij, aluminijev trimetil, aluminijev trimetanid, TMA, TMAL, AlMe3, Ziegler-Natta katalizator, trimetil-, trimetilalan. |
| Številka Cas | 75-24-1 |
| Kemijska formula | C6H18Al2 |
| Molska masa | 144,17 g/mol, 72,09 g/mol (C3H9Al) |
| Videz | Brezbarvna tekočina |
| Gostota | 0,752 g/cm3 |
| Tališče | 15 ℃ (59 ℉; 288 K) |
| Vrelišče | 125–130 ℃ (257–266 ℉, 398–403 K) |
| Topnost v vodi | Reagira |
| Parni tlak | 1,2 kPa (20 ℃), 9,24 kPa (60 ℃) |
| Viskoznost | 1,12 cP (20 ℃), 0,9 cP (30 ℃) |
Trimetilaluminij (TMAl)Kot vir kovinsko-organskih (MO) spojin se pogosto uporablja v polprevodniški industriji in služi kot ključni predhodnik za nanašanje atomskih plasti (ALD), kemično nanašanje iz pare (CVD) in kovinsko-organsko kemično nanašanje iz pare (MOCVD). Uporablja se za pripravo visoko čistih filmov, ki vsebujejo aluminij, kot sta aluminijev oksid in aluminijev nitrid. Poleg tega se TMAli široko uporablja kot katalizator in pomožno sredstvo v organski sintezi in polimerizacijskih reakcijah.
Trimetilaluminij (TMAI) deluje kot predhodnik za nanašanje aluminijevega oksida in deluje kot Ziegler-Natta katalizator. Je tudi najpogosteje uporabljen predhodnik aluminija pri proizvodnji kovinsko-organske epitaksije v parni fazi (MOVPE). Poleg tega TMAI služi kot metilacijsko sredstvo in se pogosto sprošča iz sondirnih raket kot sledilnik za preučevanje vzorcev vetra v zgornjih plasteh atmosfere.
Podjetniška specifikacija 99,9999 % trimetilaluminija - nizka vsebnost silicija in kisika (6N TAMI - nizka vsebnost Si in nizka vsebnost Ox)
| Element | Rezultat | Specifikacija | Element | Rezultat | Specifikacija | Element | Rezultat | Specifikacija |
| Ag | ND | <0,03 | Cr | ND | <0,02 | S | ND | <0,05 |
| As | ND | <0,03 | Cu | ND | <0,02 | Sb | ND | <0,05 |
| Au | ND | <0,02 | Fe | ND | <0,04 | Si | ND | ≤0,003 |
| B | ND | <0,03 | Ge | ND | <0,05 | Sn | ND | <0,05 |
| Ba | ND | <0,02 | Hg | ND | <0,03 | Sr | ND | <0,03 |
| Be | ND | <0,02 | La | ND | <0,02 | Ti | ND | <0,05 |
| Bi | ND | <0,03 | Mg | ND | <0,02 | V | ND | <0,03 |
| Ca | ND | <0,03 | Mn | ND | <0,03 | Zn | ND | <0,05 |
| Cd | ND | <0,02 | Ni | ND | <0,03 | |||
| Co | ND | <0,02 | Pb | ND | <0,03 |
Opomba:
Nad vsemi vrednostmi PPM po teži na kovini in ND = ni zaznano
Metoda analize: ICP-OES/ICP-MS
Rezultati FT-NMR (LOD za organske in oksigenirane nečistoče FT-NMR je 0,1 ppm):
Zagotovljena vsebnost kisika <0,2 ppm (merjeno s FT-NMR)
1. Ni zaznanih organskih nečistoč
2. Ni zaznanih oksigeniranih nečistoč
Za kaj se uporablja trimetilaluminij (TMAI)?
Trimetilaluminij (TMA)- Aplikacije in uporaba
Trimetilaluminij (TMA) je organoaluminijeva spojina ultra visoke čistosti, ki služi kot ključni predhodnik v nekaterih najnaprednejših proizvodnih sektorjih. Zaradi izjemne reaktivnosti in parnega tlaka je izbrani material za nanašanje natančnih aluminijevih filmov v elektroniki in energetskih tehnologijah, pa tudi temeljna komponenta pri proizvodnji poliolefinov.
Naš TMA je izdelan po najstrožjih standardih čistosti, s strogim nadzorom elementarnih, oksigeniranih in organskih nečistoč, da se zagotovi optimalno delovanje v vaših najzahtevnejših aplikacijah.
Primarne aplikacije in industrije:
1. Izdelava polprevodnikov in mikroelektronike
V polprevodniški industriji je TMA nepogrešljiv za nanašanje tankih filmov z natančnostjo atomskega merila.
* Dielektriki z visoko vrednostjo k: Uporabljajo se pri atomskem nanašanju plasti (ALD) in kemičnem nanašanju iz parne faze (CVD) za rast enakomernih tankih filmov aluminijevega oksida (Al₂O₃) brez luknjic, ki služijo kot dielektriki z visoko vrednostjo k v naprednih tranzistorjih in pomnilniških napravah.
* Sestavljeni polprevodniki: Prednostni vir aluminija v metalorganski epitaksiji iz parne faze (MOVPE) za gojenje visokozmogljivih spojin III-V. Ti materiali so bistveni za:
* Visokofrekvenčna elektronika: (npr. AlGaAs, AlInGaP)
* Optoelektronika: (npr. AlGaN, AlInGaN)
2. Čista energija in fotovoltaika
TMA omogoča večjo učinkovitost in vzdržljivost tehnologij sončne energije.
* Površinske pasivacijske plasti: Plasti aluminijevega oksida (Al₂O₃) iz TMA, nanesene z ALD ali plazemsko izboljšanim CVD (PECVD), zagotavljajo izjemno površinsko pasivizacijo za kristalne silicijeve sončne celice. To drastično zmanjša rekombinacijo nosilcev naboja, kar vodi do znatnega povečanja učinkovitosti pretvorbe celic in dolgoročne stabilnosti.
3. Napredna osvetlitev in prikaz (LED)
Proizvodnja visoko svetlih in energetsko učinkovitih LED diod je odvisna od visoko čistega TMA.
* Epitaksija LED: Služi kot predhodnik aluminija v reaktorjih MOVPE za rast aktivnih plasti (npr. AlGaN) v modrih, zelenih in ultravijoličnih LED diodah.
* Pasivacija naprav: Uporablja se za nanašanje zaščitnih filmov iz aluminijevega oksida ali aluminijevega nitrida, ki izboljšajo učinkovitost optične ekstrakcije in podaljšajo življenjsko dobo LED naprav.
4. Industrijska kataliza in proizvodnja polimerov
Industrijski pomen TMA temelji na njeni vlogi pri katalizi.
* Poliolefinska kataliza: Je primarni izhodni material za sintezo metilaluminoksana (MAO), ključnega sokatalizatorja v Ziegler-Nattovih in metalocenskih katalitičnih sistemih. Ti sistemi proizvajajo veliko večino svetovne polietilenske in polipropilenske plastike.
Ključne značilnosti in prednosti:
* Ultra visoka čistost: Skrbno nadzorovana za zmanjšanje nečistoč, ki poslabšajo elektronsko delovanje in katalitično aktivnost.
* Vrhunski predhodnik: Ponuja odlično hlapnost, toplotno stabilnost in čiste lastnosti razgradnje za visokokakovostno nanašanje filma.
* Industrijski standard: Uveljavljen in zaupanja vreden vir aluminija za postopke MOVPE, ALD in CVD v globalnih raziskovalno-razvojnih in proizvodnih obratih.
* Temelj za plastiko: Ključna surovina, ki omogoča proizvodnjo vsestranskih in bistvenih poliolefinskih polimerov.
Izjava o omejitvi odgovornosti: Trimetilaluminij je piroforen in na vlago občutljiv material, ki zahteva posebno ravnanje in varnostne protokole. Navedene informacije so zgolj opisne narave. Uporabnik je odgovoren za ravnanje s tem materialom v skladu z vsemi veljavnimi varnostnimi smernicami in za določitev njegove primernosti za določeno uporabo.
