Быстрое развитие в области информации и оптоэлектроники способствовало непрерывному обновлению технологии химической механической полировки (CMP). В дополнение к оборудованию и материалам, получение поверхностей сверхвысокого определения в большей степени зависит от проектирования и промышленного производства высокоэффективных абразивных частиц, а также от подготовки соответствующей полировки. А при постоянном улучшении точности и эффективности требований к эффективности требований к высокоэффективной полировке также становятся все выше и выше. Диоксид церия широко используется в поверхностной точке обработки микроэлектронных устройств и точных оптических компонентов.
Порошок полировки оксида оксида цери (VK-CE01) обладает преимуществами сильной способности резания, высокой эффективности полировки, высокой точности полировки, хорошего качества полировки, чистой эксплуатационной среды, низкого загрязнения, длительного срока службы и т. Д., А также широко используется в оптическом полировке точности и CMP и т. Д. Поле занимает чрезвычайно важную позицию.
Основные свойства оксида церия:
Ceria, также известная как оксид церия, является оксидом церия. В настоящее время валентность цериума составляет +4, а химическая формула - это CEO2. Чистый продукт представляет собой белый тяжелый порошок или кубический кристалл, а нечистый продукт светло-желтый или даже розовый до красновато-коричневого порошка (потому что он содержит следовые количества лантана, празеодимия и т. Д.). При комнатной температуре и давлении CERIA является стабильным оксидом церия. Cerium также может образовывать +3 Valence CE2O3, который нестабилен и будет образовывать стабильный CEO2 с O2. Оксид церия слегка растворим в воде, щелочи и кислоте. Плотность составляет 7,132 г/см3, температура плавления составляет 2600 ℃, а температура кипения составляет 3500 ℃.
Полировский механизм оксида церия
Твердость частиц CEO2 не высока. Как показано в таблице ниже, твердость оксида церия намного ниже, чем у алмаза и оксида алюминия, а также ниже, чем у оксида циркония и оксида кремния, что эквивалентно оксиду железа. Поэтому технически невозможно деполировать материалы на основе оксида кремния, такие как силикатное стекло, кварцевое стекло и т. Д., С CERIA с низкой твердостью только с механической точки зрения. Тем не менее, оксид церия в настоящее время является предпочтительным полировочным порошком для полировки материалов на основе оксида кремния или даже материалов нитрида кремния. Можно видеть, что полировка оксида церия также имеет другие эффекты, помимо механических эффектов. Твердость алмаза, которая обычно используется измельчающим и полировочным материалом, обычно имеет кислородные вакансии в решетке CEO2, который изменяет его физические и химические свойства и оказывает определенное влияние на полировки. Обычно используемые порошки из оксида церия содержат определенное количество других редкоземельных оксидов. Оксид празеодимия (PR6O11) также имеет сосредоточенную на лице кубическую структуру решетки, которая подходит для полировки, в то время как другие лантаноидные оксиды редкоземельной земли не обладают способностью полировки. Не изменяя кристаллическую структуру CEO2, он может сформировать с ним твердое решение в определенном диапазоне. Для полировки оксида наноэрайя с высокой точностью (VK-CE01), тем выше чистота оксида церия (VK-CE01), тем выше способность полировки и более длительный срок службы, особенно для твердых и кварцевых оптических линз в течение длительного времени. При циклической полировке целесообразно использовать высокую чистовую полировку оксида целей (VK-CE01).
Применение порошка полировки оксида церия:
Порошок полировки оксида оксида цери (VK-CE01), в основном используемый для полировки стеклянных продуктов, в основном используется в следующих полях:
1. Стакол, полировка стеклянной линзы;
2. Оптическая линза, оптическое стекло, объектив и т. Д.;
3. Стекло экрана мобильного телефона, поверхность наблюдения (дверь наблюдения) и т. Д.;
4. ЖК -монитор всех видов ЖК -экрана;
5. Слазости, горячие бриллианты (карты, бриллианты на джинсах), осветительные шарики (роскошные люстры в большом зале);
6. Хрустальные ремесла;
7. Частичная полировка нефрита
Текущие производные полировки оксида церия:
Поверхность оксида церия легируется алюминием, чтобы значительно улучшить его полировку оптического стекла.
Технологический отдел исследований и разработок Urbanmines Tech. Ограниченное, предполагалось, что соединение и модификация поверхности полировки являются основными методами и подходами для повышения эффективности и точности полировки CMP. Поскольку свойства частиц могут быть настроены путем составления многокомпонентных элементов, а стабильность дисперсии и эффективность полировки полировки могут быть улучшены путем модификации поверхности. Приготовление и полировка производительности порошка CEO2, легированного TiO2, может повысить эффективность полировки более чем на 50%, а в то же время поверхностные дефекты также снижаются на 80%. Синергетический полировка эффекта CEO2 Zro2 и SiO2 2CEO2 композитных оксидов; Таким образом, технология подготовки легированных микронано-композитных оксидов CERIA имеет большое значение для разработки новых полировочных материалов и обсуждения механизма полировки. В дополнение к количеству допинга, состояние и распределение легирующей привычки в синтезированных частицах также сильно влияют на их свойства поверхности и эффективность полировки.
Среди них синтез полировки частиц со структурой оболочки более привлекателен. Следовательно, выбор синтетических методов и условий также очень важен, особенно те методы, которые являются простыми и экономически эффективными. Используя гидратированный карбонат церия в качестве основного сырья, легированные алюминиевые частицы полировки оксида церия синтезировали методом влажной твердоефазной механохимического метода. При действии механической силы большие частицы гидратированного карбоната церия могут быть расщеплены на мелкие частицы, в то время как алюминиевый нитрат реагирует с водой аммиака с образованием аморфных коллоидных частиц. Коллоидные частицы легко прикрепляются к частицам карбоната церия, а после сушки и прокаливания легирование алюминия может быть достигнуто на поверхности оксида церия. Этот метод был использован для синтеза частиц оксида церия с различными количествами легирования алюминия, и их полировки были охарактеризованы. После того, как соответствующее количество алюминия добавляли на поверхность частиц оксида церия, отрицательное значение поверхностного потенциала увеличится, что, в свою очередь, создало зазор между абразивными частицами. Существует более сильное электростатическое отталкивание, которое способствует улучшению стабильности абразивной суспензии. В то же время также будет укреплен взаимная адсорбция между абразивными частицами и положительно заряженным мягким слоем через кулоновский притяжение, что полезно для взаимного контакта между абразивным и мягким слоем на поверхности полированного стекла и способствует улучшению скорости полировки.