Ақпарат және оптоэлектроника салаларындағы қарқынды даму химиялық механикалық жылтырату (CMP) технологиясын үнемі жаңартуға ықпал етті. Жабдықтар мен материалдардан басқа, ультра жоғары дәлдіктегі беттерді сатып алу жоғары тиімділігі жоғары абразивті бөлшектердің дизайнерлік және өнеркәсіптік өндірісіне, сондай-ақ тиісті жылтыратқышты дайындауға тәуелді. Бетті өңдеудің тұрақты және тиімділік талаптарын үнемі жақсартумен жоғары тиімділігі жоғары жылтыратқыш материалдарға қойылатын талаптар жоғары және одан жоғары. Серий диоксиді микроэлектрондық құрылғылар мен дәлдік оптикалық компоненттерді беттік дәл өңдеуде кеңінен қолданылады.
Серий оксиді жылтырату ұнтағы (VK-CE01) Жылтыратқыш ұнтағы күшті кесу қабілетінің, жоғары жылтыратқыштың сапасы, жақсы серпінді, таза, ластану, ұзақ ластану, ұзақ ластану және т.б.) және т.б. серпіліс және т.б.
Серий оксиді негізгі қасиеттері:
Серий оксиді деп те аталатын CERIA, бұл церй оксиді. Қазіргі уақытта сериванның валенті +4, ал химиялық формула - 2 бас директор. Таза өнім - ақ ауыр ұнтақ немесе текше кристалл, ал таза сары түсті өнім ашық сары немесе тіпті қызғылт-қоңыр ұнтаққа қызғылт түсті (себебі, оның құрамында лантан, прасиодмий және т.б.). Бөлме температурасы мен қысымында, кері оксиді - стерий оксиді. CERIME сонымен қатар тұрақсыз және O2-мен тұрақты бас директордың тұрақты бас директорын қалыптастыратын +3 валенттілікпен айналыса алады. Серий оксиді суда, сілтілі және қышқылда аздап ериді. Тығыздық 7,132 г / см3, балқу нүктесі 2600 ℃, ал қайнау температурасы - 3500 ₸.
Керий оксидінің жылтырату механизмі
Бас директордың бөлшектерінің қаттылығы жоғары емес. Төмендегі кестеде көрсетілгендей, церий оксидінің қаттылығы гауһардан және алюминий оксидінен әлдеқайда төмен, сонымен қатар, цирконий оксидіне және циркондық оксидке қарағанда төмен, ол феррикалық оксидке тең. Сондықтан силикомон оксидті материалдарды, силикат әйнегі сияқты, мысалы, силикат әйнегі, кварц әйнегі және т.б., тек механикалық тұрғыдан төмен қаттылығы бар кері емес. Алайда, церий оксиді қазіргі уақытта кремний оксидті материалдарды жылтыратуға арналған жылтыратқыш ұнтақ болып табылады, немесе тіпті кремний нитридтері. Сондай-ақ, церий оксидін жылтырату да механикалық әсерлерден басқа басқа әсерлер бар екенін көруге болады. Гауһардың қаттылығы, әдетте, қолданылатын тегістеу және жылтыратқыш материал, әдетте, оның физикалық және химиялық қасиеттерін өзгертеді және жылтыратылған қасиеттерге белгілі бір әсер етеді. Жалпы қолданыстағы сеймді оксидті жылтырату ұнтақтары басқа сирек кездесетін оксидтердің белгілі бір мөлшерін қамтиды. Прасоодмий оксиді (PR6O11) сонымен қатар беткейдің ортаңғы торының құрылымы бар, ол жылтыратуға жарамды, ал басқа да лантанидті сирек оксидтер жылтыратпайтын. Бас директордың кристалды құрылымын өзгертпестен, ол белгілі бір диапазонда қатты шешім қалыптастыра алады. Жоғары тазалық нано-цартий оксидті жылтырату ұнтағы үшін (vk-ce01), сэтий оксидінің тазалығы (vk-ce01) неғұрлым жоғары болса, соғұрлым жоғары және ұзақ уақытқа созылған әйнек және ұзақ уақыт бойы Quartz-тің ұзақ уақытқа арналған. Циклдік жылтырату кезінде жоғары сапалы сәрткі оксидті жылтырату ұнтағын (VK-CE01) қолданған жөн.
Серий оксидті жылтырату ұнтағын қолдану:
Керий оксидті жылтырату ұнтағы (VK-CE01), негізінен әйнек өнімдерін жылтырату үшін қолданылады, негізінен келесі жолдарда қолданылады:
1. Көзілдірік, шыны линзаны жылтырату;
2. оптикалық линза, оптикалық әйнек, объектив және т.б.;
3. Ұялы телефонның ұялы, беті, беті (қарау есігі) және т.;
4. СКД-дің барлық түрлері СКД экранының барлық түрлері;
5. ыринондар, ыстық гауһар (карталар, джинсыдағы гауһар), жарықтандыру шарлары (үлкен залдағы люкс люстра);
6. Кристалды қолөнер;
7. Джейдестің ішінара жылтыратуы
Ағымдағы Centium оксидін жылтырату туындылары:
Серий оксидінің беті алюминиймен бірге, оптикалық әйнекті жылтыратуды едәуір жақсарту үшін доппен кездеседі.
УраБиндер технологиясы технологиясы технологиясы. Шектеулі, жылтыратқыш бөлшектердің құрама және беттік модификациясы CMP жылтыратудың тиімділігі мен дұрыстығын жақсартудың негізгі әдістері мен тәсілдері болып табылады. Бөлшектердің қасиеттерін көп компонентті элементтерді құрастыру арқылы реттеуге болады, ал дисперсия тұрақтылығы және жылтыратылған шламдардың жылтырату тиімділігі, беттік модификациямен жақсаруға болады. TiO2-мен доппен жабдықталған бас директордың 3 ұнтағын дайындау және жылтырату жылтыратқыш тиімділікті 50% -дан асады, сонымен бірге беттік ақаулар 80% -ға азайды. 2-ZRO2 және SiO2 2 сео2 композиттік оксидтерінің синергетикалық жылтыратқышы; Сондықтан, Doped Cerie-дің микро-нано композициялық оксидтерін дайындау технологиясы жаңа жылтыратқыш материалдарды жасау және жылтырату механизмін талқылау үшін үлкен маңызға ие. Допинг мөлшерінен басқа, синтезделген бөлшектердегі доптердің күйі мен таралуы олардың бет-әлпетіне де әсер етеді және жылтыратқыш нәтижеге әсер етеді.
Олардың ішінде жабысқақ бөлшектердің синтезі құрылымы тартымды. Сондықтан синтетикалық әдістер мен шарттарды таңдау өте маңызды, әсіресе қарапайым және үнемді әдістер. Ылғалдандырылған серий карбонатын негізгі шикізат ретінде пайдалану, алюминий-допедтерлі церий оксидін жылтырату бөлшектері дымқыл қатты фазалық механикалық әдіспен синтезделген. Механикалық күштердің әсерінен гидратталған церий карбонатының үлкен бөлшектері ұсақ бөлшектерге жабысып қалуы мүмкін, ал алюминий нитраты аморфты коллоидты бөлшектерді қалыптастыру үшін аммиак суымен реакция жасайды. Коллоидты бөлшектер Centium карбонатты бөлшектеріне оңай қосылады, ал кептіру және калькуляциядан кейін алюминий допингтеріне церий оксидінің бетіне қол жеткізуге болады. Бұл әдіс әр түрлі алюминий допингімен сәрлендіргіш бөлшектерді синтездеу үшін пайдаланылды, ал олардың жылтыратқышы сипатталды. Алюминийдің тиісті мөлшерінен кейін стерий оксидінің бөлшектерінің бетіне қосылғаннан кейін, беткі потенциалдың теріс мәні артады, бұл өз кезегінде абразивті бөлшектердің арасындағы алшақтықты жасады. Абразивті аспалы тұрақтылықты жақсартуға ықпал ететін электростатикалық репультациялар бар. Сонымен бірге, абразивті бөлшектер мен оң зарядталған жұмсақ қабат пен оң зарядталған жұмсақ қабат арасындағы өзара адсорбция күшейтіліп, жылтыратылған әйнектің бетіне абразивті және жұмсақ қабат арасындағы өзара байланысуға пайдалы және жылтыратқыш мөлшерлеменің жақсаруына ықпал етеді.