טרימתילאלומיניום (TMAI)
טרימתילאלומן (TMAI)
| מילים נרדפות | טרימתילאלומיניום, אלומיניום טרימתיל, אלומיניום טרימתאניד, TMA, TMAL, AlMe3, זרז זיגלר-נטה, טרימתיל-, טרימתילאלאן. |
| מספר CAS | 75-24-1 |
| נוסחה כימית | C6H18Al2 |
| מסה מולרית | 144.17 גרם/מול, 72.09 גרם/מול (C3H9Al) |
| הוֹפָעָה | נוזל חסר צבע |
| צְפִיפוּת | 0.752 גרם/סמ"ק |
| נקודת התכה | 15 מעלות צלזיוס (59 מעלות צלזיוס; 288 קלווין) |
| נקודת רתיחה | 125--130℃ (257--266 פרנהייט, 398--403K) |
| מסיסות במים | מגיב |
| לחץ אדים | 1.2 kPa (20℃), 9.24 kPa (60℃) |
| צְמִיגוּת | 1.12 cP (20℃), 0.9 cP (30 ℃) |
טרימתילאלומיניום (TMAl), כמקור מתכת-אורגני (MO), נמצא בשימוש נרחב בתעשיית המוליכים למחצה ומשמש כמקור מפתח לשקיעת שכבה אטומית (ALD), שקיעת אדים כימית (CVD), ושקיעת אדים כימית מתכת-אורגנית (MOCVD). הוא משמש להכנת שכבות המכילות אלומיניום בעלות טוהר גבוה, כגון תחמוצת אלומיניום ואלומיניום ניטריד. בנוסף, TMAl מוצא שימוש נרחב כזרז וכחומר עזר שלו בסינתזה אורגנית ותגובות פולימריזציה.
טרימתילאלומיניום (TMAI) משמש כמקור לשקיעת תחמוצת אלומיניום ומתפקד כזרז זיגלר-נטה. זהו גם מקור האלומיניום הנפוץ ביותר בייצור אפיטקסיה של פאזה אדים-מתכתית אורגנית (MOVPE). יתר על כן, TMAI משמש כחומר מתילציה ומשתחרר לעתים קרובות מטילים כעוקב לחקר דפוסי רוחות באטמוספירה העליונה.
מפרט ארגוני של 99.9999% טרימתילאלומיניום - תכולת סיליקון נמוכה וחמצן נמוכה (6N TAMI - סיליקון נמוך ותכולת חמצן נמוכה)
| אֵלֵמֶנט | תוֹצָאָה | מִפרָט | אֵלֵמֶנט | תוֹצָאָה | מִפרָט | אֵלֵמֶנט | תוֹצָאָה | מִפרָט |
| Ag | ND | <0.03 | Cr | ND | <0.02 | S | ND | <0.05 |
| As | ND | <0.03 | Cu | ND | <0.02 | Sb | ND | <0.05 |
| Au | ND | <0.02 | Fe | ND | <0.04 | Si | ND | ≤0.003 |
| B | ND | <0.03 | Ge | ND | <0.05 | Sn | ND | <0.05 |
| Ba | ND | <0.02 | Hg | ND | <0.03 | Sr | ND | <0.03 |
| Be | ND | <0.02 | La | ND | <0.02 | Ti | ND | <0.05 |
| Bi | ND | <0.03 | Mg | ND | <0.02 | V | ND | <0.03 |
| Ca | ND | <0.03 | Mn | ND | <0.03 | Zn | ND | <0.05 |
| Cd | ND | <0.02 | Ni | ND | <0.03 | |||
| Co | ND | <0.02 | Pb | ND | <0.03 |
פֶּתֶק:
מעל הכל ערך PPM לפי משקל על מתכת, ו-ND = לא זוהה
שיטת ניתוח: ICP-OES/ICP-MS
תוצאות FT-NMR (LOD עבור זיהומים אורגניים וחומציניים ב-FT-NMR הוא 0.1ppm):
ערבות חמצן <0.2 ppm (נמדד ב-FT-NMR)
1. לא זוהו זיהומים אורגניים
2. לא זוהו זיהומים מחומצנים
למה משמש טרימתילאלומיניום (TMAI)?
טרימתילאלומיניום (TMA)- יישומים ושימושים
טרימתילאלומיניום (TMA) הוא תרכובת אלומיניום אורגנית בעלת טוהר גבוה במיוחד המשמשת כמקור קריטי בכמה ממגזרי הייצור המתקדמים ביותר. הריאקטיביות ולחץ האדים יוצאי הדופן שלו הופכים אותו לחומר המועדף להרכבת שכבות מדויקות המכילות אלומיניום בטכנולוגיות אלקטרוניקה ואנרגיה, וכן למרכיב יסודי בייצור פוליאולפין.
ה-TMA שלנו מיוצר על פי תקני הטוהר המחמירים ביותר, עם בקרה קפדנית על זיהומים אלמנטריים, מחומצנים ואורגניים כדי להבטיח ביצועים אופטימליים ביישומים התובעניים ביותר שלכם.
יישומים ותעשיות עיקריות:
1. ייצור מוליכים למחצה ומיקרואלקטרוניקה
בתעשיית המוליכים למחצה, TMA הוא הכרחי להפקדת שכבות דקות בדיוק בקנה מידה אטומי.
* דיאלקטריים בעלי רמת k גבוהה: משמשים בשקיעת שכבות אטומיות (ALD) ושקיעת אדים כימית (CVD) לגידול שכבות דקות אחידות וללא חורים של תחמוצת אלומיניום (Al₂O₃), המשמשות כדיאלקטריים בעלי רמת k גבוהה בטרנזיסטורים מתקדמים והתקני זיכרון.
* מוליכים למחצה מורכבים: מקור האלומיניום המועדף באפיטקסיה של פאזה אורגנית אדים (MOVPE) לגידול מוליכים למחצה מורכבים III-V בעלי ביצועים גבוהים. חומרים אלה חיוניים עבור:
* אלקטרוניקה בתדר גבוה: (למשל, AlGaAs, AlInGaP)
* אופטואלקטרוניקה: (למשל, AlGaN, AlInGaN)
2. אנרגיה נקייה ופוטו-וולטאיקה
TMA מאפשר יעילות ועמידות גבוהות יותר בטכנולוגיות אנרגיה סולארית.
* שכבות פסיבציה פני השטח: שכבות אלומיניום תחמוצת (Al₂O₃) המופקדות באמצעות ALD או Plasma-Enhanced CVD (PECVD), מ-TMA מספקות פסיבציה פני שטח יוצאת דופן עבור תאי שמש מסיליקון גבישי. זה מפחית באופן דרסטי את רקומבינציה של נושאי מטען, מה שמוביל לשיפורים משמעותיים ביעילות המרת התאים וביציבות לטווח ארוך.
3. תאורה ותצוגה מתקדמים (LED)
ייצור נורות LED בעלות בהירות גבוהה וחסכוניות באנרגיה מסתמך על TMA בעל טוהר גבוה.
* אפיטקסיה של LED: משמשת כקודמן אלומיניום בכורי MOVPE לגידול השכבות הפעילות (למשל, AlGaN) ב-LED כחול, ירוק ואולטרה סגול.
* פסיבציה של מכשירים: משמשת להפקדת שכבות מגן של תחמוצת אלומיניום או אלומיניום ניטריד המשפרות את יעילות החילוץ האופטית ומאריכות את תוחלת החיים התפעולית של התקני LED.
4. קטליזה תעשייתית וייצור פולימרים
החשיבות התעשייתית של TMA נעוצה בתפקידה בקטליזה.
* קטליזה של פוליאולפין: זהו חומר המוצא העיקרי לסינתזה של מתילאלומינוקסאן (MAO), קו-קטליזטור חיוני במערכות קטליזציה של זיגלר-נטה ומטאלוצן. מערכות אלו מייצרות את הרוב המכריע של פלסטיק פוליאתילן ופוליפרופילן בעולם.
מאפיינים ויתרונות עיקריים:
* טוהר אולטרה-גבוה: בקרה קפדנית על מנת למזער זיהומים הפוגעים בביצועים האלקטרוניים ובפעילות הקטליטית.
* חומר קדם מעולה: מציע נדיפות מצוינת, יציבות תרמית ומאפייני פירוק נקיים לשקיעת שכבה באיכות גבוהה.
* תקן בתעשייה: מקור האלומיניום המבוסס והאמין לתהליכי MOVPE, ALD ו-CVD במתקני מחקר ופיתוח וייצור גלובליים.
* יסודות לפלסטיק: חומר גלם מרכזי המאפשר ייצור פולימרים רב-תכליתיים וחיוניים של פוליאולפין.
הצהרת אחריות: טרימתילאלומיניום הוא חומר פירופורי ורגיש ללחות הדורש טיפול ופרוטוקולי בטיחות מיוחדים. המידע המסופק נועד למטרות תיאור. באחריות המשתמש לטפל בחומר זה בהתאם לכל הנחיות הבטיחות הרלוונטיות ולקבוע את התאמתו ליישום ספציפי.
