6

TFT תחמוצת ניידות אלקטרונית גבוהה המסוגלת להניע מסכי טלוויזיה 8K OLED

פורסם ב-9 באוגוסט 2024, בשעה 15:30 EE Times Japan

 

קבוצת מחקר מאוניברסיטת הוקאידו ביפן פיתחה במשותף "טרנזיסטור סרט דק תחמוצת" עם ניידות אלקטרונים של 78cm2/Vs ויציבות מעולה עם אוניברסיטת קוצ'י לטכנולוגיה. ניתן יהיה להניע את המסכים של טלוויזיות 8K OLED מהדור הבא.

פני השטח של הסרט הדק בשכבה הפעילה מכוסה בסרט מגן, המשפר מאוד את היציבות

באוגוסט 2024, קבוצת מחקר הכוללת עוזר פרופסור יוסאקו קיו ופרופסור הירומיצ'י אוטה ממכון המחקר למדע אלקטרוני, אוניברסיטת הוקאידו, בשיתוף עם פרופסור מאמורו פורוטה מבית הספר למדע וטכנולוגיה, האוניברסיטה הטכנולוגית של קוצ'י, הודיעה כי פיתח "טרנזיסטור סרט דק תחמוצת" עם ניידות אלקטרונים של 78cm2/Vs ויציבות מעולה. ניתן יהיה להניע את המסכים של טלוויזיות 8K OLED מהדור הבא.

טלוויזיות 4K OLED נוכחיות משתמשות בטרנזיסטורי סרט דק אוקסיד-IGZO (a-IGZO TFT) כדי להניע את המסכים. ניידות האלקטרונים של טרנזיסטור זה היא בערך 5 עד 10 cm2/Vs. עם זאת, כדי להניע את המסך של טלוויזיית 8K OLED מהדור הבא, נדרש טרנזיסטור סרט דק תחמוצת עם ניידות אלקטרונים של 70 סמ"ר/Vs או יותר.

1 23

עוזר פרופסור מאגו וצוותו פיתחו TFT עם ניידות אלקטרונים של 140 cm2/Vs 2022, תוך שימוש בסרט דק שלאינדיום אוקסיד (In2O3)עבור השכבה הפעילה. עם זאת, הוא לא הוכנס לשימוש מעשי מכיוון שיציבותו (אמינותו) הייתה ירודה ביותר עקב ספיחה ופירוק של מולקולות גז באוויר.

הפעם החליטה קבוצת המחקר לכסות את פני השכבה הפעילה הדקה בסרט מגן כדי למנוע ספיגת גז באוויר. תוצאות הניסוי הראו כי TFTs עם סרטי הגנה שלתחמוצת איטריוםותחמוצת ארביוםהפגין יציבות גבוהה במיוחד. יתרה מכך, ניידות האלקטרונים הייתה 78 cm2/Vs, והמאפיינים לא השתנו גם כאשר הופעל מתח של ±20V למשך 1.5 שעות, שנותר יציב.

מצד שני, היציבות לא השתפרה ב-TFT שהשתמשו בתחמוצת הפניום אותחמוצת אלומיניוםכמו סרטי הגנה. כאשר נצפה הסידור האטומי באמצעות מיקרוסקופ אלקטרונים, נמצא כיתחמוצת אינדיום ותחמוצת איטריום היו קשורים בחוזקה ברמה האטומית (צמיחה heteropitaxial). לעומת זאת, אושר כי ב-TFT שיציבותם לא השתפרה, הממשק בין תחמוצת האינדיום לסרט המגן היה אמורפי.