6

Էլեկտրոնների շարժունակության բարձր օքսիդ TFT, որը կարող է վարել 8K OLED հեռուստացույցի էկրաններ

Հրապարակվել է 2024 թվականի օգոստոսի 9-ին, ժամը 15:30-ին EE Times Japan

 

Ճապոնիայի Հոկայդոյի համալսարանի հետազոտական ​​խումբը Կոչիի տեխնոլոգիական համալսարանի հետ համատեղ մշակել է «օքսիդ բարակ թաղանթով տրանզիստոր»՝ 78 սմ2/վ էլեկտրոնների շարժունակությամբ և գերազանց կայունությամբ: Հնարավոր կլինի վարել հաջորդ սերնդի 8K OLED հեռուստացույցների էկրանները։

Ակտիվ շերտի բարակ թաղանթի մակերեսը ծածկված է պաշտպանիչ թաղանթով, ինչը զգալիորեն բարելավում է կայունությունը

2024 թվականի օգոստոսին հետազոտական ​​խումբը, ներառյալ ասիստենտ Յուսակու Կյոն և Հոկայդոյի համալսարանի Էլեկտրոնային գիտության գիտահետազոտական ​​ինստիտուտի պրոֆեսոր Հիրոմիչի Օտան, համագործակցելով Կոչիի տեխնոլոգիական համալսարանի Գիտության և տեխնոլոգիայի դպրոցի պրոֆեսոր Մամորու Ֆուրուտայի ​​հետ, հայտարարեցին, որ իրենք մշակել է «օքսիդ բարակ թաղանթով տրանզիստոր»՝ 78 սմ2/Վ էլեկտրոնների շարժունակությամբ և գերազանց կայունությամբ: Հնարավոր կլինի վարել հաջորդ սերնդի 8K OLED հեռուստացույցների էկրանները։

Ընթացիկ 4K OLED հեռուստացույցներն օգտագործում են օքսիդ-IGZO բարակ թաղանթային տրանզիստորներ (a-IGZO TFTs) էկրանները շարժելու համար: Այս տրանզիստորի էլեկտրոնների շարժունակությունը մոտավորապես 5-ից 10 սմ2/Վ է: Այնուամենայնիվ, հաջորդ սերնդի 8K OLED հեռուստացույցի էկրանը վարելու համար պահանջվում է օքսիդի բարակ թաղանթով տրանզիստոր՝ 70 սմ2/Վ կամ ավելի էլեկտրոնների շարժունակությամբ:

1 23

Ասիստենտ Մագոն և նրա թիմը մշակել են TFT՝ 140 սմ2/2022-ի դիմաց էլեկտրոնների շարժունակությամբ՝ օգտագործելով բարակ թաղանթ:ինդիումի օքսիդ (In2O3)ակտիվ շերտի համար. Այնուամենայնիվ, այն գործնականում չկիրառվեց, քանի որ դրա կայունությունը (հուսալիությունը) չափազանց վատ էր օդում գազի մոլեկուլների կլանման և կլանման պատճառով:

Այս անգամ հետազոտական ​​խումբը որոշել է բարակ ակտիվ շերտի մակերեսը ծածկել պաշտպանիչ թաղանթով, որպեսզի օդում գազ չներծծվի։ Փորձարարական արդյունքները ցույց են տվել, որ TFT-ները պաշտպանիչ թաղանթներովիտրիումի օքսիդևէրբիումի օքսիդցուցաբերել է չափազանց բարձր կայունություն: Ավելին, էլեկտրոնների շարժունակությունը 78 սմ2/Վ է, և բնութագրերը չեն փոխվել նույնիսկ ±20 Վ լարման կիրառման դեպքում 1,5 ժամ շարունակ՝ մնալով կայուն։

Մյուս կողմից, կայունությունը չի բարելավվել TFT-ներում, որոնք օգտագործում էին հաֆնիումի օքսիդ կամալյումինի օքսիդորպես պաշտպանիչ թաղանթներ: Երբ ատոմային դասավորությունը դիտարկվել է էլեկտրոնային մանրադիտակի միջոցով, պարզվել է, որինդիումի օքսիդ ևիտրիումի օքսիդ սերտորեն կապված էին ատոմային մակարդակում (հետերոէպիտաքսիալ աճ): Ի հակադրություն, հաստատվեց, որ TFT-ներում, որոնց կայունությունը չի բարելավվել, ինդիումի օքսիդի և պաշտպանիչ թաղանթի միջերեսը ամորֆ էր: