
Τριμεθυλαλουμάνιο (TMAI)
| Συνώνυμα | Τριμεθυλαργίλιο, τριμεθυλοαργίλιο, τριμεθανίδιο αργιλίου, TMA, TMAL, AlMe3, καταλύτης Ziegler-Natta, τριμεθυλο-, τριμεθυλαλάνιο. |
| Αριθμός Cas | 75-24-1 |
| Χημικός τύπος | C6H18Al2 |
| Μοριακή μάζα | 144,17 g/mol, 72,09 g/mol (C3H9Al) |
| Εμφάνιση | Άχρωμο υγρό |
| Πυκνότητα | 0,752 g/cm3 |
| Σημείο τήξης | 15℃ (59 ℉; 288K) |
| Σημείο βρασμού | 125--130℃ (257--266 ℉, 398--403K) |
| Διαλυτότητα στο νερό | Αντιδρά |
| Πίεση ατμών | 1,2 kPa (20℃), 9,24 kPa (60℃) |
| Ιξώδες | 1,12 cP (20℃), 0,9 cP (30℃) |
Τριμεθυλαργίλιο (TMAl)Το , ως πηγή μεταλλο-οργανικής ένωσης (MO), χρησιμοποιείται ευρέως στη βιομηχανία ημιαγωγών και χρησιμεύει ως βασικός πρόδρομος για την εναπόθεση ατομικής στρώσης (ALD), την χημική εναπόθεση ατμών (CVD) και την χημική εναπόθεση μεταλλο-οργανικής ένωσης ατμών (MOCVD). Χρησιμοποιείται για την παρασκευή μεμβρανών υψηλής καθαρότητας που περιέχουν αλουμίνιο, όπως οξείδιο του αργιλίου και νιτρίδιο του αργιλίου. Επιπλέον, το TMAl βρίσκει εκτεταμένη εφαρμογή ως καταλύτης και βοηθητικός παράγοντας του σε οργανική σύνθεση και αντιδράσεις πολυμερισμού.
Το τριμεθυλαργίλιο (TMAI) δρα ως πρόδρομος για την εναπόθεση οξειδίου του αργιλίου και λειτουργεί ως καταλύτης Ziegler-Natta. Είναι επίσης ο πιο συχνά χρησιμοποιούμενος πρόδρομος αλουμινίου στην παραγωγή επιταξίας μετάλλου-οργανικού σε φάση ατμών (MOVPE). Επιπλέον, το TMAI χρησιμεύει ως παράγοντας μεθυλίωσης και απελευθερώνεται συχνά από πυραυλοβολίδες ως ιχνηθέτης για τη μελέτη των προτύπων ανέμου στην ανώτερη ατμόσφαιρα.
Επιχειρηματική προδιαγραφή τριμεθυλαργιλίου 99,9999% - Χαμηλή περιεκτικότητα σε πυρίτιο και οξυγόνο (6N TAMI-Χαμηλό Si και Χαμηλό Ox)
| Στοιχείο | Αποτέλεσμα | Προσδιορισμός | Στοιχείο | Αποτέλεσμα | Προσδιορισμός | Στοιχείο | Αποτέλεσμα | Προσδιορισμός |
| Ag | ND | <0,03 | Cr | ND | <0,02 | S | ND | <0,05 |
| As | ND | <0,03 | Cu | ND | <0,02 | Sb | ND | <0,05 |
| Au | ND | <0,02 | Fe | ND | <0,04 | Si | ND | ≤0,003 |
| B | ND | <0,03 | Ge | ND | <0,05 | Sn | ND | <0,05 |
| Ba | ND | <0,02 | Hg | ND | <0,03 | Sr | ND | <0,03 |
| Be | ND | <0,02 | La | ND | <0,02 | Ti | ND | <0,05 |
| Bi | ND | <0,03 | Mg | ND | <0,02 | V | ND | <0,03 |
| Ca | ND | <0,03 | Mn | ND | <0,03 | Zn | ND | <0,05 |
| Cd | ND | <0,02 | Ni | ND | <0,03 | |||
| Co | ND | <0,02 | Pb | ND | <0,03 |
Σημείωμα:
Πάνω απ 'όλα, η τιμή PPM κατά βάρος στο μέταλλο και το ND = δεν ανιχνεύεται
Μέθοδος ανάλυσης: ICP-OES/ICP-MS
Αποτελέσματα FT-NMR (το LOD για οργανικές και οξυγονωμένες ακαθαρσίες FT-NMR είναι 0,1 ppm):
Εγγύηση οξυγόνου <0,2 ppm (Μετρημένη σε FT-NMR)
1. Δεν ανιχνεύθηκαν οργανικές ακαθαρσίες
2. Δεν ανιχνεύθηκαν οξυγονωμένες ακαθαρσίες
Σε τι χρησιμοποιείται το τριμεθυλαργίλιο (TMAI);
Τριμεθυλαργίλιο (TMA)- Εφαρμογές και Χρήσεις
Το τριμεθυλαργίλιο (TMA) είναι μια οργανοαργιλική ένωση εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας που χρησιμεύει ως κρίσιμος πρόδρομος σε ορισμένους από τους πιο προηγμένους τομείς της μεταποίησης. Η εξαιρετική αντιδραστικότητά του και η τάση ατμών του το καθιστούν το υλικό επιλογής για την εναπόθεση ακριβών μεμβρανών που περιέχουν αλουμίνιο σε τεχνολογίες ηλεκτρονικής και ενέργειας, καθώς και ένα θεμελιώδες συστατικό στην παραγωγή πολυολεφινών.
Ο TMA μας κατασκευάζεται σύμφωνα με τα πιο αυστηρά πρότυπα καθαρότητας, με αυστηρό έλεγχο των στοιχειακών, οξυγονωμένων και οργανικών ακαθαρσιών για να διασφαλίζεται η βέλτιστη απόδοση στις πιο απαιτητικές εφαρμογές σας.
Κύριες εφαρμογές και βιομηχανίες:
1. Κατασκευή ημιαγωγών και μικροηλεκτρονικής
Στη βιομηχανία ημιαγωγών, η TMA είναι απαραίτητη για την εναπόθεση λεπτών υμενίων με ακρίβεια ατομικής κλίμακας.
* Διηλεκτρικά Υψηλού Κ: Χρησιμοποιούνται στην Εναπόθεση Ατομικής Στρώματος (ALD) και στην Εναπόθεση Χημικών Ατμών (CVD) για την ανάπτυξη ομοιόμορφων λεπτών μεμβρανών οξειδίου του αργιλίου (Al₂O₃) χωρίς οπές, οι οποίες χρησιμεύουν ως διηλεκτρικά πύλης υψηλού κ σε προηγμένα τρανζίστορ και συσκευές μνήμης.
* Σύνθετοι Ημιαγωγοί: Η προτιμώμενη πηγή αλουμινίου στην επιταξία μεταλλοργανικής ατμοφασικής φάσης (MOVPE) για την ανάπτυξη σύνθετων ημιαγωγών υψηλής απόδοσης III-V. Αυτά τα υλικά είναι απαραίτητα για:
* Ηλεκτρονικά υψηλής συχνότητας: (π.χ., AlGaAs, AlInGaP)
* Οπτοηλεκτρονική: (π.χ., AlGaN, AlInGaN)
2. Καθαρή Ενέργεια & Φωτοβολταϊκά
Η TMA επιτρέπει υψηλότερη απόδοση και ανθεκτικότητα στις τεχνολογίες ηλιακής ενέργειας.
* Στρώσεις Επιφανειακής Παθητικοποίησης: Εναποτιθέμενες μέσω ALD ή Plasma-Enhanced CVD (PECVD), οι μεμβράνες οξειδίου του αργιλίου (Al₂O₃) από TMA παρέχουν εξαιρετική επιφανειακή παθητικοποίηση για ηλιακά κύτταρα κρυσταλλικού πυριτίου. Αυτό μειώνει δραστικά τον ανασυνδυασμό φορέων φορτίου, οδηγώντας σε σημαντικά κέρδη στην απόδοση μετατροπής των κυττάρων και στη μακροπρόθεσμη σταθερότητα.
3. Προηγμένος φωτισμός και οθόνη (LED)
Η παραγωγή LED υψηλής φωτεινότητας και ενεργειακής απόδοσης βασίζεται σε TMA υψηλής καθαρότητας.
* Επιταξία LED: Λειτουργεί ως πρόδρομος αλουμινίου σε αντιδραστήρες MOVPE για την ανάπτυξη των ενεργών στρωμάτων (π.χ., AlGaN) σε μπλε, πράσινα και υπεριώδη LED.
* Παθητικοποίηση Συσκευής: Χρησιμοποιείται για την εναπόθεση προστατευτικών μεμβρανών οξειδίου του αργιλίου ή νιτριδίου του αργιλίου που ενισχύουν την απόδοση της οπτικής εξαγωγής και παρατείνουν τη διάρκεια ζωής των συσκευών LED.
4. Βιομηχανική Κατάλυση & Παραγωγή Πολυμερών
Η βιομηχανική σημασία της TMA βασίζεται στον ρόλο της στην κατάλυση.
* Κατάλυση πολυολεφίνης: Είναι η κύρια αρχική ύλη για τη σύνθεση της μεθυλαλουμινοξάνης (MAO), ενός κρίσιμου συν-καταλύτη σε συστήματα καταλυτών Ziegler-Natta και μεταλλοκενίου. Αυτά τα συστήματα παράγουν τη συντριπτική πλειοψηφία των πλαστικών πολυαιθυλενίου και πολυπροπυλενίου στον κόσμο.
Βασικά Χαρακτηριστικά & Πλεονεκτήματα:
* Υπερυψηλής καθαρότητας: Ελέγχεται σχολαστικά για την ελαχιστοποίηση των ακαθαρσιών που υποβαθμίζουν την ηλεκτρονική απόδοση και την καταλυτική δραστηριότητα.
* Ανώτερος Πρόδρομος: Προσφέρει εξαιρετική πτητικότητα, θερμική σταθερότητα και χαρακτηριστικά καθαρής αποσύνθεσης για εναπόθεση φιλμ υψηλής ποιότητας.
* Πρότυπο Βιομηχανίας: Η καθιερωμένη, αξιόπιστη πηγή αλουμινίου για διεργασίες MOVPE, ALD και CVD σε παγκόσμιες εγκαταστάσεις Έρευνας και Ανάπτυξης και παραγωγής.
* Θεμέλια για Πλαστικά: Μια βασική πρώτη ύλη που επιτρέπει την παραγωγή ευέλικτων και βασικών πολυμερών πολυολεφίνης.
Αποποίηση ευθύνης: Το τριμεθυλαργίλιο είναι ένα πυροφορικό και ευαίσθητο στην υγρασία υλικό που απαιτεί εξειδικευμένα πρωτόκολλα χειρισμού και ασφαλείας. Οι πληροφορίες που παρέχονται είναι για περιγραφικούς σκοπούς. Είναι ευθύνη του χρήστη να χειρίζεται αυτό το υλικό σύμφωνα με όλες τις ισχύουσες οδηγίες ασφαλείας και να προσδιορίζει την καταλληλότητά του για μια συγκεκριμένη εφαρμογή.