Bilgi ve optoelektronik alanlarındaki hızlı gelişme, kimyasal mekanik parlatma (CMP) teknolojisinin sürekli güncellenmesini teşvik etmiştir. Ekipman ve malzemelere ek olarak, ultra yüksek hassasiyetli yüzeylerin elde edilmesi, yüksek verimli aşındırıcı parçacıkların tasarımına ve endüstriyel üretimine ve karşılık gelen parlatma bulamasının hazırlanmasına daha fazla bağlıdır. Yüzey işleme doğruluğu ve verimlilik gereksinimlerinin sürekli iyileştirilmesiyle, yüksek verimli parlatma malzemeleri için gereksinimler de artmaktadır. Seryum dioksit, mikroelektronik cihazların ve hassas optik bileşenlerin yüzey hassas işlenmesinde yaygın olarak kullanılmaktadır.
Seryum oksit parlatma tozu (VK-CE01) parlatma tozu, güçlü kesme kabiliyeti, yüksek parlatma verimliliği, yüksek parlatma doğruluğu, iyi parlatma kalitesi, temiz çalışma ortamı, düşük kirlilik, uzun hizmet ömrü vb.
Seryum oksidin temel özellikleri:
Seryum oksit olarak da bilinen Ceria, bir seryum oksittir. Şu anda, seryum değerliği +4'tür ve kimyasal formül CEO2'dir. Saf ürün beyaz ağır toz veya kübik kristaldir ve saf olmayan ürün açık sarı veya hatta pembe ila kırmızımsı-kahverengi tozdur (çünkü eser miktarda lantanim, praseodom, vb. İçerir). Oda sıcaklığı ve basınçta, Ceria stabil bir seryum oksittir. Seryum ayrıca kararsız olan ve O2 ile kararlı CEO2 oluşturacak +3 değer CE2O3 oluşturabilir. Seryum oksit su, alkali ve asitte biraz çözünür. Yoğunluk 7.132 g/cm3, erime noktası 2600 ℃ ve kaynama noktası 3500 ℃'dir.
Seryum oksit parlatma mekanizması
CEO2 parçacıklarının sertliği yüksek değildir. Aşağıdaki tabloda gösterildiği gibi, seryum oksidin sertliği elmas ve alüminyum oksitten çok daha düşüktür ve ayrıca ferrik oksite eşdeğer olan zirkonyum oksit ve silikon oksitten daha düşüktür. Bu nedenle, sadece mekanik bir bakış açısından düşük sertliğe sahip seria ile silikat cam, kuvars cam, vb. Silikon oksit bazlı malzemeleri doldurmak teknik olarak mümkün değildir. Bununla birlikte, seryum oksit şu anda silikon oksit bazlı malzemeleri veya hatta silikon nitrür malzemelerini parlatma için tercih edilen parlatma tozudur. Seryum oksit parlatmanın mekanik etkilerin yanı sıra başka etkileri de olduğu görülebilir. Yaygın olarak kullanılan bir taşlama ve parlatma malzemesi olan elmasın sertliği, genellikle CEO2 kafesinde fiziksel ve kimyasal özelliklerini değiştiren ve parlatma özellikleri üzerinde belirli bir etkiye sahip olan oksijen boşluklarına sahiptir. Yaygın olarak kullanılan seryum oksit parlatma tozları belirli miktarda diğer nadir toprak oksit içerir. Praseodom oksit (PR6O11) ayrıca parlatma için uygun olan yüz merkezli bir kübik kafes yapısına sahiptir, diğer lantanid nadir toprak oksitlerinin parlatma yeteneği yoktur. CEO2'nin kristal yapısını değiştirmeden, belirli bir aralıkta onunla sağlam bir çözüm oluşturabilir. Yüksek saflıkta nano-cerium oksit parlatma tozu (VK-CE01) için, seryum oksitin (VK-CE01) saflığı o kadar yüksek olur, özellikle sert cam ve kuvars optik lensler için parlatma kabiliyeti ve daha uzun hizmet ömrü o kadar büyük olur. Döngüsel parlatma sırasında, yüksek saflıkta seryum oksit parlatma tozu (VK-CE01) kullanılması tavsiye edilir.
Seryum oksit parlatma tozunun uygulanması:
Esas olarak cam ürünleri parlatma için kullanılan seryum oksit parlatma tozu (VK-CE01), esas olarak aşağıdaki alanlarda kullanılır:
1. Gözlük, cam lens parlatma;
2. Optik lens, optik cam, lens, vb.;
3. Cep telefonu ekran camı, izle yüzeyi (kapıyı izle) vb.;
4. LCD her türlü LCD ekranını izleyin;
5. Rhinestones, Sıcak Elmaslar (Kartlar, Kot Üzerinde Elmaslar), Aydınlatma Topları (Büyük Salondaki Lüks Avizeler);
6. Kristal El Sanatları;
7. Yeşimin kısmi parlatılması
Mevcut seryum oksit parlatma türevleri:
Seryum oksidin yüzeyi, optik camın parlatılmasını önemli ölçüde iyileştirmek için alüminyum ile katlanır.
UrbanMines Tech Teknoloji Araştırma ve Geliştirme Bölümü. Sınırlı, parlatma parçacıklarının bileşik ve yüzey modifikasyonunun, CMP parlatılmasının verimliliğini ve doğruluğunu artırmak için ana yöntemler ve yaklaşımlar olduğu önerildi. Parçacık özellikleri, çok bileşenli elementlerin birleştirilmesi ile ayarlanabildiğinden ve cilalama bulamacılığının dispersiyon stabilitesi ve parlatma etkinliği yüzey modifikasyonu ile geliştirilebilir. TIO2 ile katkılı CEO2 tozunun hazırlanması ve parlatma performansı, parlatma verimliliğini%50'den fazla artırabilir ve aynı zamanda yüzey kusurları da%80 azalır. CEO2 ZRO2 ve SIO2 2CEO2 kompozit oksitlerin sinerjistik parlatma etkisi; Bu nedenle, katkılı ceria mikro-nano kompozit oksitlerin hazırlık teknolojisi, yeni parlatma malzemelerinin geliştirilmesi ve parlatma mekanizması tartışması için büyük önem taşımaktadır. Doping miktarına ek olarak, sentezlenen parçacıklardaki katkanın durumu ve dağılımı da yüzey özelliklerini ve parlatma performanslarını büyük ölçüde etkiler.
Bunlar arasında, kaplama yapısı ile parlatma parçacıklarının sentezi daha çekicidir. Bu nedenle, sentetik yöntem ve koşulların seçimi de çok önemlidir, özellikle basit ve uygun maliyetli yöntemler. Ana hammadde olarak hidratlı seryum karbonat kullanılarak, alüminyum katkılı seryum oksit parlatma parçacıkları ıslak katı faz mekanokimyasal yöntemle sentezlendi. Mekanik kuvvetin etkisi altında, büyük hidratlı seryum karbonat parçacıkları ince parçacıklara bölünebilirken, alüminyum nitrat amorf kolloidal partiküller oluşturmak için amonyak suyu ile reaksiyona girer. Kolloidal partiküller, seryum karbonat parçacıklarına kolayca bağlanır ve kurutma ve kalsinasyondan sonra, seryum oksidin yüzeyinde alüminyum doping elde edilebilir. Bu yöntem, farklı miktarlarda alüminyum doping ile seryum oksit parçacıklarını sentezlemek için kullanıldı ve cilalama performansı karakterize edildi. Seryum oksit partiküllerinin yüzeyine uygun miktarda alüminyum ilave edildikten sonra, yüzey potansiyelinin negatif değeri artacaktır, bu da aşındırıcı parçacıklar arasındaki boşluğu oluşturmuştur. Aşındırıcı süspansiyon stabilitesinin iyileşmesini destekleyen daha güçlü elektrostatik itme vardır. Aynı zamanda, aşındırıcı parçacıklar ile Coulomb cazibesi yoluyla pozitif yüklü yumuşak tabaka arasındaki karşılıklı adsorpsiyon da güçlendirilecektir, bu da cilalı camın yüzeyindeki aşındırıcı ve yumuşak tabaka arasındaki karşılıklı temas için faydalıdır ve cilalama hızının iyileştirilmesini teşvik eder.