තොරතුරු සහ දෘශ්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික ක්ෂේත්‍රවල වේගවත් සංවර්ධනය රසායනික යාන්ත්‍රික ඔප දැමීමේ (CMP) තාක්ෂණය අඛණ්ඩව යාවත්කාලීන කිරීම ප්රවර්ධනය කර ඇත. උපකරණ සහ ද්‍රව්‍ය වලට අමතරව, අති-ඉහළ නිරවද්‍යතාවයෙන් යුත් පෘෂ්ඨයන් අත්පත් කර ගැනීම, ඉහළ කාර්යක්ෂමතාවයකින් යුත් උල්ෙල්ඛ අංශු සැලසුම් කිරීම සහ කාර්මික නිෂ්පාදනය මෙන්ම අනුරූප ඔප දැමීමේ පොහොර සකස් කිරීම මත රඳා පවතී. මතුපිට සැකසීමේ නිරවද්‍යතාවය සහ කාර්යක්ෂමතා අවශ්‍යතා අඛණ්ඩව වැඩිදියුණු කිරීමත් සමඟ ඉහළ කාර්යක්ෂමතාවයකින් යුත් ඔප දැමීමේ ද්‍රව්‍ය සඳහා අවශ්‍යතා ද ඉහළ යමින් පවතී. ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංගවල සහ නිරවද්‍ය දෘශ්‍ය සංරචකවල මතුපිට නිරවද්‍ය යන්ත්‍රෝපකරණ සඳහා සීරියම් ඩයොක්සයිඩ් බහුලව භාවිතා වේ.
සීරියම් ඔක්සයිඩ් ඔප දැමීමේ කුඩු (VK-Ce01) ඔප දැමීමේ කුඩු ශක්තිමත් කැපුම් හැකියාව, ඉහළ ඔප දැමීමේ කාර්යක්ෂමතාව, ඉහළ ඔප දැමීමේ නිරවද්‍යතාවය, හොඳ ඔප දැමීමේ ගුණාත්මකභාවය, පිරිසිදු මෙහෙයුම් පරිසරය, අඩු දූෂණය, දිගු සේවා කාලය යනාදී වාසි ඇති අතර එය බහුලව භාවිතා වේ. දෘශ්‍ය නිරවද්‍යතා ඔප දැමීම සහ CMP යනාදිය ක්ෂේත්‍රය අතිශය වැදගත් ස්ථානයක් ගනී.
සීරියම් ඔක්සයිඩ් වල මූලික ගුණාංග:
සීරියම් ඔක්සයිඩ් ලෙසද හැඳින්වෙන සීරියා යනු සීරියම් ඔක්සයිඩ් වේ. මෙම අවස්ථාවේදී, සීරියම් හි සංයුජතාව +4 වන අතර රසායනික සූත්‍රය CeO2 වේ. පිරිසිදු නිශ්පාදනය සුදු බර කුඩු හෝ ඝන ස්ඵටිකයක් වන අතර, අපිරිසිදු නිෂ්පාදනය ලා කහ හෝ රෝස සිට රතු-දුඹුරු කුඩු වේ (එහි ලැන්තනම්, ප්‍රෙසෝඩියමියම් ආදිය සුළු ප්‍රමාණයක් අඩංගු බැවින්). කාමර උෂ්ණත්වයේ සහ පීඩනයේ දී සීරියා යනු සීරියම් හි ස්ථායී ඔක්සයිඩ් වේ. Cerium හට +3 සංයුජතා Ce2O3 සෑදිය හැක, එය අස්ථායී වන අතර O2 සමඟ ස්ථායී CeO2 සාදනු ඇත. සෙරියම් ඔක්සයිඩ් ජලය, ක්ෂාර සහ අම්ලයේ තරමක් ද්‍රාව්‍ය වේ. ඝනත්වය 7.132 g/cm3, ද්රවාංකය 2600℃, සහ තාපාංකය 3500℃ වේ.
සීරියම් ඔක්සයිඩ් ඔප දැමීමේ යාන්ත්‍රණය
CeO2 අංශුවල දෘඪතාව වැඩි නොවේ. පහත වගුවේ පෙන්වා ඇති පරිදි, සීරියම් ඔක්සයිඩ් වල දෘඪතාව දියමන්ති සහ ඇලුමිනියම් ඔක්සයිඩ් වලට වඩා බෙහෙවින් අඩු වන අතර, ෆෙරික් ඔක්සයිඩ් වලට සමාන සර්කෝනියම් ඔක්සයිඩ් සහ සිලිකන් ඔක්සයිඩ් වලට වඩා අඩුය. එබැවින් යාන්ත්‍රික දෘෂ්ටි කෝණයකින් පමණක් අඩු දෘඪතාවක් සහිත සීරියා සහිත සිලිකේට් වීදුරු, ක්වාර්ට්ස් වීදුරු වැනි සිලිකන් ඔක්සයිඩ් මත පදනම් වූ ද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීම තාක්‍ෂණිකව කළ නොහැක. කෙසේ වෙතත්, සීරියම් ඔක්සයිඩ් දැනට සිලිකන් ඔක්සයිඩ් මත පදනම් වූ ද්‍රව්‍ය හෝ සිලිකන් නයිට්‍රයිඩ් ද්‍රව්‍ය ඔප දැමීම සඳහා වඩාත් කැමති ඔප දැමීමේ කුඩු වේ. සීරියම් ඔක්සයිඩ් ඔප දැමීමේදී යාන්ත්‍රික බලපෑම්වලට අමතරව වෙනත් බලපෑම් ද ඇති බව දැකිය හැකිය. බහුලව භාවිතා වන ඇඹරුම් සහ ඔප දැමීමේ ද්‍රව්‍යයක් වන දියමන්තිවල දෘඪතාව සාමාන්‍යයෙන් CeO2 දැලිසෙහි ඔක්සිජන් පුරප්පාඩු ඇති අතර එය එහි භෞතික හා රසායනික ගුණාංග වෙනස් කරන අතර ඔප දැමීමේ ගුණාංග කෙරෙහි යම් බලපෑමක් ඇති කරයි. බහුලව භාවිතා වන සීරියම් ඔක්සයිඩ් ඔප දැමීමේ කුඩු වල වෙනත් දුර්ලභ පෘථිවි ඔක්සයිඩ් යම් ප්‍රමාණයක් අඩංගු වේ. Praseodymium oxide (Pr6O11) ද මුහුණ කේන්ද්‍ර කරගත් ඝන දැලිස් ව්‍යුහයක් ඇති අතර එය ඔප දැමීම සඳහා සුදුසු වන අතර අනෙකුත් ලැන්තනයිඩ් දුර්ලභ පෘථිවි ඔක්සයිඩවලට ඔප දැමීමේ හැකියාවක් නොමැත. CeO2 හි ස්ඵටික ව්යුහය වෙනස් නොකර, එය නිශ්චිත පරාසයක් තුළ එය සමඟ ඝන විසඳුමක් සෑදිය හැක. ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් නැනෝ-සීරියම් ඔක්සයිඩ් ඔප දැමීමේ කුඩු (VK-Ce01) සඳහා, සීරියම් ඔක්සයිඩ් (VK-Ce01) හි සංශුද්ධතාවය වැඩි වන තරමට, ඔප දැමීමේ හැකියාව වැඩි වන අතර දිගු සේවා කාලය, විශේෂයෙන් දෘඩ වීදුරු සහ ක්වාර්ට්ස් ඔප්ටිකල් කාච සඳහා දිගු කාලය. චක්‍රීය ඔප දැමීමේදී, ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සීරියම් ඔක්සයිඩ් ඔප දැමීමේ කුඩු (VK-Ce01) භාවිතා කිරීම සුදුසුය.
සීරියම් ඔක්සයිඩ් ඔප දැමීමේ කුඩු යෙදීම:
Cerium ඔක්සයිඩ් ඔප දැමීමේ කුඩු (VK-Ce01), ප්‍රධාන වශයෙන් වීදුරු නිෂ්පාදන ඔප දැමීම සඳහා භාවිතා කරයි, එය ප්‍රධාන වශයෙන් පහත ක්ෂේත්‍රවල භාවිතා වේ:
1. වීදුරු, වීදුරු කාච ඔප දැමීම;
2. දෘශ්‍ය කාච, දෘශ්‍ය වීදුරු, කාච, ආදිය;
3. ජංගම දුරකථන තිර වීදුරු, ඔරලෝසු මතුපිට (මුර දොර) ආදිය;
4. සියලු වර්ගවල LCD තිරය LCD මොනිටරය;
5. ඉඟුරු, උණුසුම් දියමන්ති (කාඩ්පත්, ජීන්ස් මත දියමන්ති), ආලෝක බෝල (විශාල ශාලාවේ සුඛෝපභෝගී චැන්ඩ්ලියර්);
6. ස්ඵටික අත්කම්;
7. ජේඩ් අර්ධ වශයෙන් ඔප දැමීම
වත්මන් සීරියම් ඔක්සයිඩ් ඔප දැමීමේ ව්‍යුත්පන්නයන්:
ඔප්ටිකල් වීදුරු ඔප දැමීම සැලකිය යුතු ලෙස වැඩිදියුණු කිරීම සඳහා සීරියම් ඔක්සයිඩ් මතුපිට ඇලුමිනියම් සමඟ මාත්‍රණය කර ඇත.
නාගරික පතල් තාක්ෂණ තාක්ෂණ පර්යේෂණ හා සංවර්ධන දෙපාර්තමේන්තුව. සීමාසහිත, CMP ඔප දැමීමේ කාර්යක්ෂමතාව සහ නිරවද්‍යතාවය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා ඔප දැමීමේ අංශු සංයෝග කිරීම සහ මතුපිට වෙනස් කිරීම ප්‍රධාන ක්රම සහ ප්‍රවේශයන් බව යෝජනා කරන ලදී. බහු-සංරචක මූලද්‍රව්‍ය සංයෝග කිරීම මගින් අංශු ගුණාංග සුසර කළ හැකි අතර මතුපිට වෙනස් කිරීම මගින් ඔප දැමීමේ පොහොරවල විසරණ ස්ථායීතාවය සහ ඔප දැමීමේ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කළ හැකි බැවිනි. TiO2 සමඟ මාත්‍රණය කරන ලද CeO2 කුඩු සකස් කිරීම සහ ඔප දැමීමේ ක්‍රියාකාරිත්වය 50% ට වඩා ඔප දැමීමේ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කළ හැකි අතර ඒ සමඟම මතුපිට දෝෂ 80% කින් අඩු වේ. CeO2 ZrO2 සහ SiO2 2CeO2 සංයුක්ත ඔක්සයිඩවල සමමුහුර්ත ඔප දැමීමේ බලපෑම; එබැවින් නව ඔප දැමීමේ ද්‍රව්‍ය සංවර්ධනය කිරීම සහ ඔප දැමීමේ යාන්ත්‍රණය පිළිබඳ සාකච්ඡාව සඳහා මාත්‍රණය කරන ලද සීරියා ක්ෂුද්‍ර-නැනෝ සංයුක්ත ඔක්සයිඩ සකස් කිරීමේ තාක්ෂණය ඉතා වැදගත් වේ. මාත්‍රණ ප්‍රමාණයට අමතරව, සංස්ලේෂණය කරන ලද අංශුවල මාත්‍රාවේ තත්වය සහ ව්‍යාප්තිය ද ඒවායේ මතුපිට ගුණාංග සහ ඔප දැමීමේ ක්‍රියාකාරිත්වයට බෙහෙවින් බලපායි.
ඒවා අතර, ආවරණ ව්යුහය සමඟ අංශු ඔප දැමීමේ සංශ්ලේෂණය වඩාත් ආකර්ෂණීය වේ. එබැවින්, කෘතිම ක්රම සහ කොන්දේසි තෝරාගැනීම ද ඉතා වැදගත් වේ, විශේෂයෙන් සරල හා ලාභදායී ක්රම. හයිඩ්‍රේටඩ් සීරියම් කාබනේට් ප්‍රධාන අමුද්‍රව්‍ය ලෙස භාවිතා කරමින්, ඇලුමිනියම් මාත්‍රණය කළ සීරියම් ඔක්සයිඩ් ඔප දැමීමේ අංශු තෙත් ඝන-අදියර යාන්ත්‍රික රසායනික ක්‍රමය මගින් සංස්ලේෂණය කරන ලදී. යාන්ත්‍රික බලයේ ක්‍රියාකාරිත්වය යටතේ, හයිඩ්‍රේටඩ් සීරියම් කාබනේට් විශාල අංශු සියුම් අංශු බවට පත් කළ හැකි අතර, ඇලුමිනියම් නයිට්‍රේට් ඇමෝනියා ජලය සමඟ ප්‍රතික්‍රියා කර අස්ඵටික කොලොයිඩල් අංශු සාදයි. කොලොයිඩල් අංශු සීරියම් කාබනේට් අංශුවලට පහසුවෙන් සම්බන්ධ වන අතර, වියළීම සහ ගණනය කිරීමෙන් පසු ඇලුමිනියම් මාත්‍රණය සීරියම් ඔක්සයිඩ් මතුපිටට ලබා ගත හැකිය. මෙම ක්‍රමය විවිධ ප්‍රමාණයේ ඇලුමිනියම් මාත්‍රණය සමඟ සීරියම් ඔක්සයිඩ් අංශු සංස්ලේෂණය කිරීමට භාවිතා කරන ලද අතර ඒවායේ ඔප දැමීමේ ක්‍රියාකාරිත්වය සංලක්ෂිත විය. සීරියම් ඔක්සයිඩ් අංශු මතුපිටට සුදුසු ඇලුමිනියම් ප්‍රමාණයක් එකතු කළ පසු, මතුපිට විභවයේ සෘණ අගය වැඩි වන අතර එමඟින් උල්ෙල්ඛ අංශු අතර පරතරය ඇති විය. උල්ෙල්ඛ අත්හිටුවීමේ ස්ථායීතාව වැඩිදියුණු කිරීම ප්රවර්ධනය කරන ශක්තිමත් විද්යුත් විකර්ෂණයක් ඇත. ඒ අතරම, Coulomb ආකර්ෂණය හරහා උල්ෙල්ඛ අංශු සහ ධන ආරෝපිත මෘදු ස්ථරය අතර අන්‍යෝන්‍ය අවශෝෂණය ද ශක්තිමත් වනු ඇත, එය ඔප දැමූ වීදුරු මතුපිට ඇති උල්ෙල්ඛ සහ මෘදු තට්ටුව අතර අන්‍යෝන්‍ය සම්බන්ධතාවයට ප්‍රයෝජනවත් වන අතර එය ප්රවර්ධනය කරයි. ඔප දැමීමේ අනුපාතය වැඩි දියුණු කිරීම.