Szybki rozwój w dziedzinach informacji i optoelektroniki promował ciągłą aktualizację technologii mechanicznego polerowania (CMP). Oprócz sprzętu i materiałów, pozyskiwanie powierzchni bardzo wysokiej precyzyjnej jest bardziej zależne od projektowania i produkcji przemysłowej wysokowydajnych cząstek ściernych, a także od przygotowania odpowiedniej zawiesiny polerowania. A dzięki ciągłej doskonalenia wymagań dotyczących przetwarzania powierzchni i wydajności wymagania dotyczące wysokowydajnych materiałów polerowania również stają się coraz wyższe. Dwutlenek cerowy był szeroko stosowany w precyzyjnym obróbce powierzchni urządzeń mikroelektronicznych i precyzyjnych komponentach optycznych.
Proszek do polerowania tlenku cerium (VK-CCE01) ma zalety silnej zdolności do cięcia, wysokiej wydajności polerowania, wysokiej dokładności polerowania, dobrej jakości polerowania, czystego środowiska operacyjnego, niskiego zanieczyszczenia, długiej żywotności serwisowej itp., I jest szeroko stosowane w optycznym precyzyjnym polerowaniu i CMP itp. Pole zajmuje niezwykle ważną pozycję.
Podstawowe właściwości tlenku ceru:
Ceria, znana również jako tlenek cerium, jest tlenkiem ceru. W tym czasie wartościowość cerium wynosi +4, a formuła chemiczna to CEO2. Czysty produkt to biały ciężki proszek lub kryształ sześcienny, a nieczystym produktem jest jasnożółty, a nawet różowy do czerwonawo-brązowego proszku (ponieważ zawiera śladowe ilości lantanu, praseodymu itp.). Przy temperaturze pokojowej i ciśnieniu ceria jest stabilnym tlenek ceru. Cerium może również tworzyć +3 Valence Ce2O3, który jest niestabilny i będzie tworzyć stabilny CEO2 z O2. Tlenek ceru jest lekko rozpuszczalny w wodzie, zasadach i kwasie. Gęstość wynosi 7,132 g/cm3, temperatura topnienia wynosi 2600 ℃, a temperatura wrzenia wynosi 3500 ℃.
Mechanizm polerowania tlenku ceru
Twardość cząstek CEO2 nie jest wysoka. Jak pokazano w poniższej tabeli, twardość tlenku ceru jest znacznie niższa niż w twardym tlenku diamentu i aluminium, a także niższa niż w tlenku tlenku cyrkonu i tlenku krzemu, co jest równoważne z tlenkiem żelazowym. Dlatego technicznie nie jest możliwe do depolowania materiałów na bazie tlenku krzemu, takich jak szkło krzemianowe, szkło kwarcowe itp., Z cerą o niskiej twardości z mechanicznego punktu widzenia. Jednak tlenek cerium jest obecnie preferowanym proszkiem do polerowania do polerowania materiałów na bazie tlenku krzemowego, a nawet materiałów azotków krzemu. Można zauważyć, że polerowanie tlenku ceru ma również inne efekty oprócz efektów mechanicznych. Twardość diamentu, która jest powszechnie stosowanym materiałem do szlifowania i polerowania, zwykle ma wolne miejsca tlenu w sieci CEO2, która zmienia jego właściwości fizyczne i chemiczne i ma pewien wpływ na właściwości polerowania. Powszechnie stosowane proszki do polerowania tlenku ceru zawierają pewną ilość innych tlenków ziem rzadkich. Tlenek Praseodymu (PR6O11) ma również skoncentrowaną na twarzy strukturę sieci sześciennej, która jest odpowiednia do polerowania, podczas gdy inne tlenki ziem rzadkich lantanowców nie mają zdolności polerowania. Bez zmiany struktury krystalicznej CEO2 może tworzyć z nim stały roztwór w określonym zakresie. W przypadku proszku do polerowania tlenku nano-cerium o wysokiej czystości (VK-CCE01), tym wyższa czystość tlenku cerium (VK-CCE01), tym większa zdolność polerowania i dłuższa żywotność obsługi, szczególnie w przypadku soczewek optycznych twardych i kwarcowych od dłuższego czasu. Podczas polerowania cyklicznego wskazane jest stosowanie proszku do polerowania tlenku cerowego o wysokiej czystości (VK-CCE01).
Zastosowanie proszku do polerowania tlenku ceru:
Pudrowi proszek do polerowania tlenku cerowego (VK-CCE01), stosowany głównie do szklanych produktów polerowania, stosuje się głównie w następujących polach:
1. Szklanki, polerowanie soczewek szklanych;
2. Obiektyw optyczny, szkło optyczne, soczewki itp.;
3. Szklanka ekranu telefonu komórkowego, powierzchnia zegarka (drzwi zegarka) itp.;
4. Monitorowanie LCD wszelkiego rodzaju ekran LCD;
5. Crinestones, gorące diamenty (karty, diamenty na dżinsach), kule oświetleniowe (luksusowe żyrandole w dużej hali);
6. Crystal Crafts;
7. Częściowe polecenie jadei
Obecne pochodne polerowania tlenku ceru:
Powierzchnia tlenku ceru jest domieszkowana aluminium, aby znacznie poprawić polerowanie szkła optycznego.
Departament Badań Technologii i Rozwoju Urbanmines Tech. Ograniczony, zaproponował, że mieszanie i modyfikacja cząstek polerowania są głównymi metodami i podejściami do poprawy wydajności i dokładności polerowania CMP. Ponieważ właściwości cząstek można dostroić przez połączenie elementów wieloskładników, a stabilność dyspersji i wydajność polerowania zawiesiny polerowania można poprawić poprzez modyfikację powierzchni. Preparat i polerowanie proszku CEO2 domieszkowanego TiO2 może poprawić wydajność polerowania o ponad 50%, a jednocześnie defekty powierzchniowe są również zmniejszone o 80%. Synergistyczny efekt polerowania tlenków kompozytowych CEO2 ZRO2 i SIO2 2CEO2; Dlatego technologia przygotowawcza domieszkowanych mikro-nano tlenków Ceria ma ogromne znaczenie dla rozwoju nowych materiałów polerowania i dyskusji na temat mechanizmu polerowania. Oprócz kwoty domieszkowania stan i rozkład domieszki w zsyntetyzowanych cząstkach również wpływa również na ich właściwości powierzchniowe i wydajność polerowania.
Wśród nich synteza cząstek polerowania o strukturze okładziny jest bardziej atrakcyjna. Dlatego wybór syntetycznych metod i warunków jest również bardzo ważny, szczególnie te metody, które są proste i opłacalne. Stosując nawodniony węglan cerium jako główny surowiec, cząstki polerowania tlenku ceru domieszkowanego aluminium zsyntetyzowano metodą mechanochemiczną w fazie stałej. Pod działaniem siły mechanicznej duże cząstki nawodnienia węglanu cerowego można rozszczepione na drobne cząstki, podczas gdy azotan glinu reaguje z wodą amoniaku, tworząc amorficzne cząstki koloidalne. Cząstki koloidalne są łatwo przyłączone do cząstek węglanu cerium, a po wysuszeniu i kalcynacji domieszkowania aluminium można osiągnąć na powierzchni tlenku ceru. Metodę tę zastosowano do syntezy cząstek tlenku ceru z różnymi ilościami domieszkowania aluminium i scharakteryzowano ich wydajność polerowania. Po dodaniu odpowiedniej ilości aluminium na powierzchnię cząstek tlenku ceru, ujemna wartość potencjału powierzchniowego wzrosłaby, co z kolei spowodowało szczelinę między cząstkami ściernymi. Istnieje silniejsze odpychanie elektrostatyczne, które promuje poprawę stabilności zawiesiny ściernej. Jednocześnie wzajemna zostanie również wzajemna adsorpcja między cząsteczkami ściernymi a dodatnio naładowaną warstwą miękką przez przyciąganie kulombowskie, co jest korzystne dla wzajemnego kontaktu między warstwą ścierną a miękką na powierzchni polerowanego szkła i sprzyja poprawie szybkości polerowania.