ການພັດທະນາຢ່າງໄວວາໃນຂົງເຂດຂໍ້ມູນຂ່າວສານແລະ optoelectronics ໄດ້ສົ່ງເສີມການປັບປຸງຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງເຕັກໂນໂລຊີຂັດກົນຈັກເຄມີ (CMP). ນອກເຫນືອໄປຈາກອຸປະກອນແລະວັດສະດຸ, ການຊື້ຂອງຫນ້າດິນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແມ່ນຂຶ້ນກັບການອອກແບບແລະການຜະລິດອຸດສາຫະກໍາຂອງອະນຸພາກ abrasive ປະສິດທິພາບສູງ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບການກະກຽມຂອງ slurry ຂັດທີ່ສອດຄ້ອງກັນ. ແລະດ້ວຍການປັບປຸງຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການປຸງແຕ່ງພື້ນຜິວແລະຄວາມຕ້ອງການປະສິດທິພາບ, ຄວາມຕ້ອງການອຸປະກອນການຂັດປະສິດທິພາບສູງຍັງໄດ້ຮັບການສູງຂຶ້ນແລະສູງຂຶ້ນ. Cerium dioxide ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງຫນ້າດິນຂອງອຸປະກອນ microelectronic ແລະອົງປະກອບ optical ຄວາມແມ່ນຍໍາ.
ຜົງຂັດຂັດ Cerium oxide (VK-Ce01) ມີຂໍ້ດີຂອງຄວາມສາມາດໃນການຕັດທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ປະສິດທິພາບການຂັດສູງ, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຂັດສູງ, ຄຸນນະພາບການຂັດທີ່ດີ, ສະພາບແວດລ້ອມການເຮັດວຽກທີ່ສະອາດ, ມົນລະພິດຕ່ໍາ, ຊີວິດການບໍລິການຍາວ, ແລະອື່ນໆ, ແລະຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ. ການຂັດຄວາມແມ່ນຍໍາ optical ແລະ CMP, ແລະອື່ນໆພາກສະຫນາມ occupies ເປັນຕໍາແຫນ່ງທີ່ສໍາຄັນທີ່ສຸດ.
ຄຸນສົມບັດພື້ນຖານຂອງ cerium oxide:
Ceria, ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າ cerium oxide, ແມ່ນ oxide ຂອງ cerium. ໃນເວລານີ້, valence ຂອງ cerium ແມ່ນ +4, ແລະສູດເຄມີແມ່ນ CeO2. ຜະລິດຕະພັນທີ່ບໍລິສຸດແມ່ນຜົງຫນັກສີຂາວຫຼືໄປເຊຍກັນກ້ອນ, ແລະຜະລິດຕະພັນທີ່ບໍ່ສະອາດແມ່ນສີເຫຼືອງອ່ອນຫຼືແມ້ກະທັ້ງສີບົວກັບຜົງສີນ້ໍາຕານແດງ (ເນື່ອງຈາກວ່າມັນມີຈໍານວນຮ່ອງຮອຍຂອງ lanthanum, praseodymium, ແລະອື່ນໆ). ໃນອຸນຫະພູມຫ້ອງແລະຄວາມກົດດັນ, ceria ເປັນ oxide ທີ່ຫມັ້ນຄົງຂອງ cerium. Cerium ຍັງສາມາດປະກອບເປັນ +3 valence Ce2O3, ທີ່ບໍ່ສະຖຽນລະພາບແລະຈະປະກອບເປັນ CeO2 ທີ່ຫມັ້ນຄົງກັບ O2. Cerium oxide ແມ່ນລະລາຍເລັກນ້ອຍໃນນ້ໍາ, ເປັນດ່າງແລະອາຊິດ. ຄວາມຫນາແຫນ້ນແມ່ນ 7.132 g / cm3, ຈຸດ melting ແມ່ນ 2600 ℃, ແລະຈຸດຮ້ອນແມ່ນ 3500 ℃.
ກົນໄກການຂັດຂອງ cerium oxide
ຄວາມແຂງຂອງອະນຸພາກ CeO2 ແມ່ນບໍ່ສູງ. ດັ່ງທີ່ສະແດງຢູ່ໃນຕາຕະລາງຂ້າງລຸ່ມນີ້, ຄວາມແຂງຂອງ cerium oxide ແມ່ນຕ່ໍາກວ່າຂອງເພັດແລະອາລູມິນຽມອອກໄຊ, ແລະຍັງຕ່ໍາກວ່າ zirconium oxide ແລະ silicon oxide, ເຊິ່ງທຽບເທົ່າກັບ ferric oxide. ດັ່ງນັ້ນ, ມັນເປັນໄປບໍ່ໄດ້ທາງດ້ານເຕັກນິກທີ່ຈະຂັດວັດສະດຸທີ່ອີງໃສ່ຊິລິໂຄນອອກໄຊ, ເຊັ່ນແກ້ວ silicate, ແກ້ວ quartz, ແລະອື່ນໆ, ດ້ວຍ ceria ທີ່ມີຄວາມແຂງຕ່ໍາຈາກມຸມເບິ່ງຂອງກົນຈັກເທົ່ານັ້ນ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, cerium oxide ໃນປັດຈຸບັນເປັນຝຸ່ນຂັດທີ່ຕ້ອງການສໍາລັບການຂັດວັດສະດຸທີ່ອີງໃສ່ຊິລິໂຄນອອກໄຊຫຼືແມ້ກະທັ້ງວັດສະດຸຊິລິຄອນ nitride. ມັນສາມາດເຫັນໄດ້ວ່າການຂັດ cerium oxide ຍັງມີຜົນກະທົບອື່ນໆນອກເຫນືອຈາກຜົນກະທົບກົນຈັກ. ຄວາມແຂງຂອງເພັດ, ເຊິ່ງເປັນອຸປະກອນການຂັດແລະຂັດທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປ, ປົກກະຕິແລ້ວມີອົກຊີເຈນທີ່ຫວ່າງຢູ່ໃນເສັ້ນດ່າງ CeO2, ເຊິ່ງປ່ຽນແປງຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບແລະເຄມີຂອງມັນແລະມີຜົນກະທົບທີ່ແນ່ນອນກ່ຽວກັບຄຸນສົມບັດຂັດ. ຜົງຂັດສີເຊຣຽມອອກໄຊທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປມີຈໍານວນທີ່ແນ່ນອນຂອງທາດອອກໄຊໂລກທີ່ຫາຍາກອື່ນໆ. Praseodymium oxide (Pr6O11) ຍັງມີໂຄງສ້າງ cubic lattice ທີ່ມີໃບຫນ້າເປັນສູນກາງ, ເຊິ່ງເຫມາະສົມສໍາລັບການຂັດ, ໃນຂະນະທີ່ lanthanide rare earth oxides ບໍ່ມີຄວາມສາມາດໃນການຂັດ. ໂດຍບໍ່ມີການປ່ຽນໂຄງສ້າງຜລຶກຂອງ CeO2, ມັນສາມາດເປັນການແກ້ໄຂແຂງກັບມັນພາຍໃນຂອບເຂດທີ່ແນ່ນອນ. ສໍາລັບຜົງຂັດເງົາ nano-cerium oxide ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (VK-Ce01), ຄວາມບໍລິສຸດຂອງ cerium oxide (VK-Ce01) ສູງຂື້ນ, ຄວາມສາມາດໃນການຂັດຫຼາຍຂື້ນແລະອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານ, ໂດຍສະເພາະສໍາລັບແກ້ວແຂງແລະເລນ optical quartz ສໍາລັບ ດົນນານ. ເມື່ອຂັດຮອບວຽນ, ຄວນໃຊ້ຜົງຂັດສີ cerium oxide ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (VK-Ce01).
ການນໍາໃຊ້ຜົງຂັດ cerium oxide:
Cerium oxide polishing powder (VK-Ce01), ສ່ວນຫຼາຍແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບຜະລິດຕະພັນແກ້ວຂັດ, ມັນຖືກນໍາໃຊ້ຕົ້ນຕໍໃນຂົງເຂດດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
1. ແວ່ນຕາ, ຂັດແກ້ວ;
2. ເລນ optical, ແກ້ວ optical, ເລນ, ແລະອື່ນໆ;
3. ແກ້ວຫນ້າຈໍໂທລະສັບມືຖື, ດ້ານໂມງ (ປະຕູໂມງ), ແລະອື່ນໆ;
4. ຈໍ LCD ທຸກປະເພດຂອງຫນ້າຈໍ LCD;
5. Rhinestones, ເພັດຮ້ອນ (ບັດ, ເພັດໃສ່ jeans), ບານເຮັດໃຫ້ມີແສງ (chandeliers ຟຸ່ມເຟືອຍໃນຫ້ອງໂຖງໃຫຍ່);
6. ຫັດຖະກໍາ Crystal;
7. ການຂັດບາງສ່ວນຂອງ jade
ອະນຸພັນການຂັດສີ cerium oxide ໃນປັດຈຸບັນ:
ດ້ານຂອງ cerium oxide ແມ່ນ doped ກັບອາລູມິນຽມເພື່ອປັບປຸງການຂັດຂອງແກ້ວ optical ຂອງຕົນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
ພະແນກຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາເຕັກໂນໂລຊີ UrbanMines Tech. ຈໍາກັດ, ສະເຫນີວ່າການປະສົມແລະການດັດແປງພື້ນຜິວຂອງອະນຸພາກຂັດແມ່ນວິທີການຕົ້ນຕໍແລະວິທີການປັບປຸງປະສິດທິພາບແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຂັດ CMP. ເນື່ອງຈາກວ່າຄຸນສົມບັດອະນຸພາກສາມາດໄດ້ຮັບການປັບໂດຍການປະສົມຂອງອົງປະກອບຫຼາຍອົງປະກອບ, ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງການກະຈາຍແລະປະສິດທິພາບການຂັດຂອງ slurry ຂັດສາມາດໄດ້ຮັບການປັບປຸງໂດຍການດັດແປງຫນ້າດິນ. ການກະກຽມແລະການຂັດຂອງຜົງ CeO2 ທີ່ doped ກັບ TiO2 ສາມາດປັບປຸງປະສິດທິພາບການຂັດໄດ້ຫຼາຍກ່ວາ 50%, ແລະໃນເວລາດຽວກັນ, ຄວາມຜິດປົກກະຕິຂອງຫນ້າດິນຍັງຫຼຸດລົງ 80%. ຜົນກະທົບຂັດ synergistic ຂອງ CeO2 ZrO2 ແລະ SiO2 2CeO2 composite oxides; ດັ່ງນັ້ນ, ເທກໂນໂລຍີການກະກຽມຂອງ doped ceria micro-nano composite oxides ມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍສໍາລັບການພັດທະນາວັດສະດຸຂັດໃຫມ່ແລະການສົນທະນາຂອງກົນໄກການຂັດ. ນອກເຫນືອໄປຈາກປະລິມານ doping, ລັດແລະການແຜ່ກະຈາຍຂອງ dopant ໃນອະນຸພາກສັງເຄາະຍັງມີຜົນກະທົບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ຄຸນສົມບັດຫນ້າດິນຂອງເຂົາເຈົ້າແລະປະສິດທິພາບການຂັດ.
ໃນບັນດາພວກເຂົາ, ການສັງເຄາະຂອງອະນຸພາກຂັດທີ່ມີໂຄງສ້າງ cladding ແມ່ນມີຄວາມດຶງດູດກວ່າເກົ່າ. ດັ່ງນັ້ນ, ການເລືອກວິທີການສັງເຄາະ ແລະ ເງື່ອນໄຂກໍ່ມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍ, ໂດຍສະເພາະວິທີການທີ່ງ່າຍດາຍ ແລະ ປະຫຍັດຕົ້ນທຶນ. ການນໍາໃຊ້ hydrated cerium carbonate ເປັນວັດຖຸດິບຕົ້ນຕໍ, ອະລູມິນຽມ doped cerium oxide particles polishing ໄດ້ຖືກສັງເຄາະໂດຍວິທີການ wet solid-phase mechanochemical. ພາຍໃຕ້ການດໍາເນີນການຂອງແຮງກົນຈັກ, ອະນຸພາກຂະຫນາດໃຫຍ່ຂອງ hydrated cerium carbonate ສາມາດ cleaved ເປັນອະນຸພາກລະອຽດ, ໃນຂະນະທີ່ nitrate ອາລູມິນຽມ reacts ກັບນ້ໍາ ammonia ເພື່ອສ້າງເປັນອະນຸພາກ colloidal amorphous. ອະນຸພາກ colloidal ແມ່ນຕິດໄດ້ຢ່າງງ່າຍດາຍກັບ particles cerium carbonate, ແລະຫຼັງຈາກການຕາກແຫ້ງແລະ calcination, ອາລູມິນຽມ doping ສາມາດບັນລຸໄດ້ຢູ່ດ້ານຂອງ cerium oxide. ວິທີການນີ້ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອສັງເຄາະ particles cerium oxide ທີ່ມີປະລິມານທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງ doping ອາລູມິນຽມ, ແລະປະສິດທິພາບການຂັດຂອງພວກມັນມີລັກສະນະ. ຫຼັງຈາກຈໍານວນທີ່ເຫມາະສົມຂອງອາລູມິນຽມຖືກເພີ່ມໃສ່ຫນ້າດິນຂອງອະນຸພາກ cerium oxide, ມູນຄ່າທາງລົບຂອງທ່າແຮງດ້ານຫນ້າຈະເພີ່ມຂຶ້ນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຊ່ອງຫວ່າງລະຫວ່າງອະນຸພາກຂັດ. ມີ repulsion electrostatic ທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ເຊິ່ງສົ່ງເສີມການປັບປຸງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງ suspension abrasive. ໃນຂະນະດຽວກັນ, ການດູດຊຶມເຊິ່ງກັນແລະກັນລະຫວ່າງອະນຸພາກຂັດແລະຊັ້ນອ່ອນທີ່ມີຄ່າໃນທາງບວກໂດຍຜ່ານການດຶງດູດ Coulomb ຍັງຈະເຂັ້ມແຂງ, ເຊິ່ງເປັນປະໂຫຍດຕໍ່ການຕິດຕໍ່ເຊິ່ງກັນແລະກັນລະຫວ່າງຊັ້ນຂັດແລະຊັ້ນອ່ອນຂອງແກ້ວຂັດ, ແລະສົ່ງເສີມ. ການປັບປຸງອັດຕາການຂັດ.