정보 및 광전자 공학 분야의 급속한 발전으로 인해 CMP(화학 기계적 연마) 기술이 지속적으로 업데이트되었습니다. 장비 및 재료 외에도 초정밀 표면의 획득은 고효율 연마 입자의 설계 및 산업 생산뿐만 아니라 해당 연마 슬러리의 준비에 더 많이 의존합니다. 그리고 표면 처리 정확도 및 효율성 요구 사항이 지속적으로 개선됨에 따라 고효율 연마 재료에 대한 요구 사항도 점점 더 높아지고 있습니다. 이산화세륨은 마이크로 전자 장치 및 정밀 광학 부품의 표면 정밀 가공에 널리 사용되었습니다.
산화 세륨 연마 분말 (VK-Ce01) 연마 분말은 강력한 절단 능력, 높은 연마 효율, 높은 연마 정확도, 우수한 연마 품질, 깨끗한 작업 환경, 낮은 오염, 긴 수명 등의 장점을 가지며 널리 사용됩니다. 광학 정밀연마, CMP 등 분야는 매우 중요한 위치를 차지하고 있습니다.
산화세륨의 기본 특성:
산화세륨이라고도 알려진 세리아는 세륨의 산화물입니다. 이때 세륨의 원자가는 +4이고, 화학식은 CeO2이다. 순수한 생성물은 흰색의 무거운 분말 또는 입방체 결정이고, 불순한 생성물은 연한 노란색 또는 심지어 분홍색에서 적갈색 분말입니다(미량의 란타늄, 프라세오디뮴 등이 포함되어 있기 때문). 실온 및 압력에서 세리아는 안정한 세륨 산화물입니다. 세륨은 또한 +3 원자가 Ce2O3를 형성할 수 있는데, 이는 불안정하며 O2와 함께 안정한 CeO2를 형성합니다. 산화세륨은 물, 알칼리, 산에 약간 용해됩니다. 밀도는 7.132g/cm3, 녹는점은 2600℃, 끓는점은 3500℃이다.
산화세륨의 연마 메커니즘
CeO2 입자의 경도는 높지 않습니다. 아래 표에서 보는 바와 같이 산화세륨의 경도는 다이아몬드나 산화알루미늄에 비해 훨씬 낮고, 산화철과 동등한 산화지르코늄이나 산화규소에 대해서도 경도가 낮다. 따라서 규산염 유리, 석영 유리 등과 같은 산화규소 기반 재료를 기계적 관점에서만 경도가 낮은 세리아로 연마하는 것은 기술적으로 가능하지 않습니다. 그러나 산화세륨은 현재 산화규소 기반 재료 또는 심지어 질화규소 재료를 연마하는 데 선호되는 연마 분말입니다. 산화세륨 연마는 기계적 효과 외에 다른 효과도 있음을 알 수 있다. 일반적으로 사용되는 연삭 및 연마 재료인 다이아몬드의 경도는 일반적으로 CeO2 격자에 산소 결손이 있어 물리적, 화학적 특성을 변화시키고 연마 특성에 일정한 영향을 미칩니다. 일반적으로 사용되는 산화세륨 연마분말에는 일정량의 다른 희토류 산화물이 포함되어 있습니다. 산화프라세오디뮴(Pr6O11)도 면심 입방격자 구조를 가지고 있어 연마에 적합한 반면, 다른 란탄계 희토류 산화물은 연마 능력이 없습니다. CeO2의 결정 구조를 바꾸지 않고도 일정 범위 내에서 고용체를 형성할 수 있습니다. 고순도 나노산화세륨 연마분말(VK-Ce01)은 산화세륨(VK-Ce01)의 순도가 높을수록 연마능력이 뛰어나고 수명이 길어지며, 특히 경질유리 및 석영광학렌즈의 경우 더욱 그렇습니다. 장기. 반복연마 시에는 고순도 산화세륨 연마분말(VK-Ce01)을 사용하는 것이 좋습니다.
산화 세륨 연마제의 적용:
주로 유리 제품 연마에 사용되는 산화 세륨 연마 분말 (VK-Ce01)은 주로 다음 분야에서 사용됩니다.
1. 안경, 유리 렌즈 연마;
2. 광학렌즈, 광학유리, 렌즈 등
3. 휴대폰 화면 유리, 시계 표면(시계 도어) 등
4. LCD 모니터 온갖 LCD 화면;
5. 라인스톤, 핫 다이아몬드(카드, 청바지에 다이아몬드), 조명 공(대형 홀의 고급 샹들리에);
6. 크리스탈 공예품;
7. 옥의 부분연마
현재 산화세륨 연마 유도체:
산화세륨의 표면에 알루미늄을 도핑하여 광학유리의 연마성을 대폭 향상시켰습니다.
UrbanMines Tech의 기술 연구 개발 부서. Limited는 연마 입자의 합성 및 표면 개질이 CMP 연마의 효율성과 정확성을 향상시키는 주요 방법 및 접근법이라고 제안했습니다. 다원소의 배합으로 입자의 성질을 조절할 수 있고, 표면개질을 통해 연마슬러리의 분산안정성과 연마효율을 향상시킬 수 있기 때문이다. TiO2가 도핑된 CeO2 분말의 제조 및 연마 성능은 연마 효율을 50% 이상 향상시키는 동시에 표면 결함도 80% 감소시킵니다. CeO2 ZrO2 및 SiO2 2CeO2 복합 산화물의 시너지 연마 효과; 따라서 도핑된 세리아 마이크로-나노 복합산화물 제조 기술은 새로운 연마재료 개발과 연마 메커니즘 논의에 있어서 매우 중요한 의미를 갖는다. 도핑량 외에도 합성된 입자 내 도펀트의 상태와 분포도 표면 특성과 연마 성능에 큰 영향을 미칩니다.
그 중에서도 클래딩 구조를 갖는 연마 입자의 합성이 더욱 매력적이다. 따라서 합성 방법 및 조건의 선택, 특히 간단하고 비용 효율적인 방법의 선택도 매우 중요합니다. 수화된 탄산세륨을 주원료로 하여 습식고상 기계화학적 방법으로 알루미늄이 도핑된 산화세륨 연마입자를 합성하였다. 기계적 힘의 작용으로 수화된 탄산세륨의 큰 입자는 미세한 입자로 분해될 수 있으며, 질산알루미늄은 암모니아수와 반응하여 무정형 콜로이드 입자를 형성합니다. 콜로이드 입자는 탄산세륨 입자에 쉽게 부착되며, 건조 및 소성 후 산화세륨 표면에 알루미늄 도핑이 가능하다. 이 방법은 알루미늄 도핑량이 다른 산화세륨 입자를 합성하는 데 사용되었으며, 연마 성능을 특성화했습니다. 산화세륨 입자의 표면에 적당량의 알루미늄을 첨가하면 표면 전위의 음의 값이 증가하여 지립 사이에 틈이 생기게 된다. 정전기 반발력이 더 강해 연마재 현탁액의 안정성이 향상됩니다. 동시에 쿨롱 인력을 통한 연마 입자와 양으로 하전된 연질 층 사이의 상호 흡착도 강화되어 연마 유리 표면의 연질 층과 연마 입자 사이의 상호 접촉에 유리하고 촉진됩니다. 연마율의 향상.