Хуткае развіццё ў галіне інфармацыі і оптаэлектронікі спрыяла пастаяннаму абнаўленню тэхналогіі хіміка-механічнай паліроўкі (CMP). У дадатак да абсталявання і матэрыялаў, набыццё паверхняў звышвысокай дакладнасці ў большай ступені залежыць ад распрацоўкі і прамысловай вытворчасці высокаэфектыўных абразіўных часціц, а таксама ад падрыхтоўкі адпаведнай паліравальнай суспензіі. І з пастаянным паляпшэннем патрабаванняў да дакладнасці і эфектыўнасці апрацоўкі паверхні патрабаванні да высокаэфектыўных паліравальных матэрыялаў таксама становяцца ўсё вышэй і вышэй. Дыяксід цэрыю шырока выкарыстоўваецца ў дакладнай апрацоўцы паверхні мікраэлектронных прылад і прэцызійных аптычных кампанентаў.
Паліравальны парашок аксіду цэрыю (VK-Ce01) мае такія перавагі, як моцная рэжучая здольнасць, высокая эфектыўнасць паліроўкі, высокая дакладнасць паліроўкі, добрая якасць паліроўкі, чыстае працоўнае асяроддзе, нізкі ўзровень забруджвання, працяглы тэрмін службы і г.д., і шырока выкарыстоўваецца ў аптычная паліроўка дакладнасці і CMP і г.д. поле займае надзвычай важнае месца.
Асноўныя ўласцівасці аксіду цэрыя:
Аксід цэрыя, таксама вядомы як аксід цэрыя, з'яўляецца аксідам цэрыя. У гэты час валентнасць цэрыя складае +4, а хімічная формула - CeO2. Чысты прадукт - гэта белы цяжкі парашок або кубічны крышталь, а нячысты - парашок ад светла-жоўтага або нават ружовага да чырванавата-карычневага колеру (паколькі ён утрымлівае следавыя колькасці лантана, празеадыму і г.д.). Пры пакаёвай тэмпературы і ціску аксід цэрыю з'яўляецца стабільным аксідам цэрыя. Цэрый можа таксама ўтвараць +3 валентны Ce2O3, які з'яўляецца няўстойлівым і будзе ўтвараць стабільны CeO2 з O2. Аксід цэрыя слаба раствараецца ў вадзе, шчолачы і кіслаце. Шчыльнасць складае 7,132 г/см3, тэмпература плаўлення - 2600 ℃, тэмпература кіпення - 3500 ℃.
Механізм паліроўкі аксіду цэрыя
Цвёрдасць часціц CeO2 не высокая. Як паказана ў табліцы ніжэй, цвёрдасць аксіду цэрыя значна ніжэй, чым у алмаза і аксіду алюмінія, а таксама ніжэй, чым у аксіду цырконія і аксіду крэмнію, што эквівалентна аксіду жалеза. Таму тэхнічна немагчыма дэпаліраваць матэрыялы на аснове аксіду крэмнію, такія як сілікатнае шкло, кварцавае шкло і г.д., з дапамогай аксіду цэрыю з нізкай цвёрдасцю толькі з механічнага пункту гледжання. Тым не менш, аксід цэрыя ў цяперашні час з'яўляецца пераважным паліравальным парашком для паліроўкі матэрыялаў на аснове аксіду крэмнія або нават матэрыялаў з нітрыду крэмнія. Можна заўважыць, што паліроўка аксідам цэрыя мае і іншыя эфекты, акрамя механічных. Цвёрдасць алмаза, які звычайна выкарыстоўваецца для шліфавання і паліроўкі, звычайна мае кіслародныя вакансіі ў рашотцы CeO2, што змяняе яго фізічныя і хімічныя ўласцівасці і аказвае пэўны ўплыў на ўласцівасці паліроўкі. Звычайна выкарыстоўваюцца парашкі для паліроўкі аксіду цэрыя ўтрымліваюць пэўную колькасць іншых рэдказямельных аксідаў. Аксід празеадыму (Pr6O11) таксама мае гранецэнтрычную структуру кубічнай рашоткі, якая прыдатная для паліроўкі, у той час як іншыя рэдказямельныя аксіды лантанідаў не маюць здольнасці паліраваць. Не змяняючы крышталічнай структуры CeO2, ён можа ўтвараць з ім цвёрды раствор у пэўным дыяпазоне. Для паліравальнага парашка з нана-аксідам цэрыю высокай чысціні (VK-Ce01), чым вышэй чысціня аксіду цэрыя (VK-Ce01), тым большая здольнасць да паліроўкі і больш працяглы тэрмін службы, асабліва для аптычных лінзаў з цвёрдага шкла і кварца. доўгі час. Пры цыклічнай паліроўцы пажадана выкарыстоўваць паліравальны парашок аксіду цэрыя высокай чысціні (VK-Ce01).
Прымяненне парашка для паліроўкі аксіду цэрыя:
Парашок для паліроўкі аксіду цэрыю (VK-Ce01), які ў асноўным выкарыстоўваецца для паліроўкі шкляных вырабаў, у асноўным выкарыстоўваецца ў наступных галінах:
1. Акуляры, паліроўка шкляных лінзаў;
2. Аптычная лінза, аптычнае шкло, лінза і інш.;
3. Шкло экрана мабільнага тэлефона, паверхня гадзінніка (дзверца гадзінніка) і інш.;
4. ВК-манітор усе віды ВК-экрана;
5. Стразы, гарачыя брыльянты (карты, брыльянты на джынсах), асвятляльныя шары (раскошныя люстры ў вялікай зале);
6. Крыштальныя вырабы;
7. Частковая паліроўка нефрыту
Бягучыя вытворныя паліроўкі аксіду цэрыя:
Паверхню аксіду цэрыя легіруюць алюмініем, каб значна палепшыць яе паліроўку аптычнага шкла.
Дэпартамент тэхналагічных даследаванняў і распрацовак UrbanMines Tech. Limited, выказаў здагадку, што складанне і мадыфікацыя паверхні паліруючых часціц з'яўляюцца асноўнымі метадамі і падыходамі для павышэння эфектыўнасці і дакладнасці паліроўкі CMP. Таму што ўласцівасці часціц можна наладзіць шляхам злучэння шматкампанентных элементаў, а стабільнасць дысперсіі і эфектыўнасць паліроўкі паліравальнай суспензіі можна палепшыць шляхам мадыфікацыі паверхні. Прадукцыйнасць падрыхтоўкі і паліроўкі парашка CeO2, легаванага TiO2, можа палепшыць эфектыўнасць паліроўкі больш чым на 50%, і ў той жа час дэфекты паверхні таксама памяншаюцца на 80%. Сінэргічны эфект паліроўкі кампазітных аксідаў CeO2 ZrO2 і SiO2 2CeO2; такім чынам, тэхналогія падрыхтоўкі мікра-нанакампазіцыйных аксідаў легаванага дыяксіду цэрыю мае вялікае значэнне для распрацоўкі новых паліравальных матэрыялаў і абмеркавання механізму паліроўкі. У дадатак да колькасці допінгу, стан і размеркаванне дабаўкі ў сінтэзаваных часціцах таксама моцна ўплывае на ўласцівасці іх паверхні і прадукцыйнасць паліроўкі.
Сярод іх больш прывабным з'яўляецца сінтэз паліруючых часціц з ашалёўкай. Такім чынам, выбар сінтэтычных метадаў і ўмоў таксама вельмі важны, асабліва тых метадаў, якія з'яўляюцца простымі і эканамічна эфектыўнымі. Выкарыстоўваючы гідратаваны карбанат цэрыю ў якасці асноўнай сыравіны, паліруючыя часціцы аксіду цэрыя, дапаваныя алюмініем, былі сінтэзаваны механахімічным метадам вільготнай цвёрдай фазы. Пад дзеяннем механічнай сілы буйныя часціцы гидратированного карбанату цэрыя могуць расшчапляцца на дробныя часціцы, а нітрат алюмінія рэагуе з аміячнай вадой з адукацыяй аморфных калоідных часціц. Калоідныя часціцы лёгка прымацоўваюцца да часціц карбанату цэрыя, і пасля сушкі і абпалу на паверхні аксіду цэрыя можа быць дасягнута легіраванне алюмініем. Гэтым метадам сінтэзаваны часціцы аксіду цэрыя з рознай колькасцю легіраванага алюмініем і ахарактарызавана іх паліравальная здольнасць. Пасля дадання адпаведнай колькасці алюмінія на паверхню часціц аксіду цэрыя адмоўнае значэнне павярхоўнага патэнцыялу павялічыцца, што, у сваю чаргу, створыць зазор паміж абразіўнымі часціцамі. Узмацняецца электрастатычнае адштурхванне, што спрыяе павышэнню стабільнасці абразіўнай суспензіі. У той жа час узаемная адсорбцыя паміж абразіўнымі часціцамі і станоўча зараджаным мяккім пластом праз кулонаўскае прыцягненне таксама будзе ўзмоцнена, што спрыяе ўзаемнаму кантакту паміж абразіўным і мяккім пластом на паверхні паліраванага шкла і спрыяе павышэнне хуткасці паліроўкі.